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始于90年代末

湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 08
CSE’s Horizontal Quartz Tube Cleaning Stations are designed and built around your quartz tube configuration. All quartz tube cleaners incorporate an acid spray cycle, rinse cycle and an option dry cycle. Once the application is defined we add appropriate options like holding tanks, programmable rinse cycles, bottle washer and T/C sheath cleaner to complete your design. All tube cleaners include all required safety features with sign off drawings. Our expertise in developingquartz tube cleaning stations and outstanding customer support gives you the satisfaction you deserve. All process, etching or cleaning components are built and designed in-house giving you complete turnkey support. Quartz Tube Cleaning Station Benefits Include:§ Custom designed around your tube requi...
发布时间: 2019 - 06 - 11
实验室自动配液机(灌装机)CSE-LIQOUR-II  随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高,传统的人工手动配液、补液逐渐由自动配液取代。  然而,在湿制程工艺实验以及生物配药实验等实验验证的过程中,大多数还保持着采用量筒量杯逐一调配制程药液的方法。采用人为手工配置药液不仅精度得不到保证,而且化学品大多有腐蚀性、毒性等特点(如硫酸H2SO4、硝酸HNO3、磷酸H3PO4、盐酸HCL、氢氟酸HF、缓冲氧化物刻蚀液BOE等酸性溶液;氨水NH4OH、氢氧化钾KOH等碱性溶液;NMP溶液、丙酮、甲醇、IPA等有机液),在配比过程中对操作人员具有一定的危险性。  为解决实验室手动配液的弊端,华林科纳(江苏)半导体设备有限公司开发研制了新型实验室自动配液机(灌装机)CSE-LIQOUR-II。此配液机专为化学生物制药工艺实验室设计,是用来满足药液自动配比的设备,通过称重、流量计准确计量、气压输送或注塞抽取等方式将药液按照比例输送,配液精确度能够达到2‰。  该设备操作自动化,质量好,能预防药液污染。适用于半导体清洗和药厂配制普通液体药剂等用途,具有以下优点:  1)操作安全:系统应具有抗腐蚀性、毒性、耐压、防燃防爆等功能,保证操作者安全;  2)兼容性:与化学品接触部分完全与输送化学品兼容,对化学品零污染;  3)自动控制操作运转:系统单元与机台界面自动化;  4)精确配比:系统连续供液(配液、补液)过程中准确可靠,脉动性较好;  5)泄漏警报:检测泄漏及紧急关闭系统(E-MO);  6)其他:系统自诊断及管路维修保养功能。  作为湿制程设备专业制造商,华林科纳(江苏)半导体设备有限公司对实验室自动配液机(灌装机)CSE-LIQOUR-II的成功研发,为湿制程工艺实验室或生物配药实验室的精确配比,提升实验人员的实验...
发布时间: 2016 - 12 - 02
太阳能单晶制绒清洗机设备-CSE华林科纳(江苏)CSE密切跟踪太阳能光伏行业发展,致力于“设备+工艺”的研发模式,现生产的单多晶制绒设备已经形成了良好的客户基础和市场影响。生产工艺流程为:预清洗→制绒→扩散→刻蚀→去PSG→PECVD→印刷→烧结太阳能电池片湿法设备主要技术特点:1.独特的双槽制绒工艺槽设计;2.分立式加热系统保证溶液均匀性并降低运营成本;3.多通道注入结构实现制绒工艺槽溶液均匀性控制;4.机械传动特殊设计及人性化安全保证;5.适应性强的工艺过程控制。  在太阳能电池生产中,制绒是晶硅电池的第一道工艺。华林科纳CSE的工程师提到对于单晶硅来说,制绒的目的就是延长光在电池表面的传播路径,从而提高太阳能电池对光的吸收效率。单晶硅制绒的主要方法是用碱(NaOH、KOH)对硅片表面进行腐蚀。由于硅片的内部结构不同,各向异性的碱液制绒主要是使晶向分布均匀的单晶硅表面形成类似“金字塔”状的绒面,有效地增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。对于既可获得低的表面反射率,又有利于太阳能电池的后续制作工艺的绒面,应该是金字塔大小均匀,单体尺寸在 2~10 μm之间,相邻金字塔之间没有空隙,即覆盖率达到100%。理想质量绒面的形成,受到了诸多因素的影响,如硅片被腐蚀前的表面状态、制绒液的组成、各组分的含量、温度、反应时间等。而在工业生产中,对这一工艺过程的影响因素更加复杂,例如加工硅片的数量、醇类的挥发、反应产物在溶液中的积聚、制绒液中各组分的变化等。为了维持生产良好的可重复性,并获得高的生产效率。就要比较透彻地了解金字塔绒面的形成机理,控制对制绒过程中影响较大的因素,在较短的时间内形成质量较好的金字塔绒面。      单晶制绒的工艺比较复杂,不同公司有各自独特的制绒方法。一般碱制绒有以下几种方法:...
发布时间: 2016 - 06 - 02
全自动硅料清洗机 ---华林科纳CSE华林科纳(江苏)CSE密切跟踪太阳能光伏行业发展,致力于“设备+工艺”的研发模式,现生产的单多晶制绒设备已经形成了良好的客户基础和市场影响。生产工艺流程为:预清洗→制绒→扩散→刻蚀→去PSG→PECVD→印刷→烧结太阳能电池片湿法设备主要技术特点:1.独特的双槽制绒工艺槽设计;2.分立式加热系统保证溶液均匀性并降低运营成本;3.多通道注入结构实现制绒工艺槽溶液均匀性控制;4.机械传动特殊设计及人性化安全保证;5.适应性强的工艺过程控制。特点:1)主要用于对硅材料行业中多晶硅块进行清洗干燥处理。2)工艺流程:根据客户需求定制,可处理腐蚀、清洗、超声、加热、干燥、上料 、喷淋 、酸洗、漂洗、下料等工艺;3)控制方式:手动或自动4)材质:根据客户及工艺需求选用,可选PP、PVC、PVDF、石英、不锈钢等材质,保证设备的耐用性;5)槽体的槽底均为倾斜漏斗式结构,便于清洗和排渣;  6)设备设有旋转装置使工件达到更好的清洗效果;7)顶部设有排雾系统结合酸雾塔进行废雾、废水处理避免污染环境;8)PLC控制人机界面操作显示能根据实际情况更改清洗参数。更多的太阳能光伏清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 10
全自动硅芯硅棒清洗机---CSE华林科纳(江苏)CSE密切跟踪太阳能光伏行业发展,致力于“设备+工艺”的研发模式,现生产的单多晶制绒设备已经形成了良好的客户基础和市场影响。生产工艺流程为:预清洗→制绒→扩散→刻蚀→去PSG→PECVD→印刷→烧结太阳能电池片湿法设备主要技术特点:1.独特的双槽制绒工艺槽设计;2.分立式加热系统保证溶液均匀性并降低运营成本;3.多通道注入结构实现制绒工艺槽溶液均匀性控制;4.机械传动特殊设计及人性化安全保证;5.适应性强的工艺过程控制。产品描述1)主要用于对硅材料行业中多晶硅块进行清洗干燥处理。2)工艺流程:根据客户需求定制,可处理腐蚀、清洗、超声、加热、干燥、上料 、喷淋 、酸洗、漂洗、下料等工艺;3)控制方式:手动或自动4)材质:根据客户及工艺需求选用,可选PP、PVC、PVDF、石英、不锈钢等材质,保证设备的耐用性;5)槽体的槽底均为倾斜漏斗式结构,便于清洗和排渣;  6)设备设有旋转装置使工件达到更好的清洗效果;7)顶部设有排雾系统结合酸雾塔进行废雾、废水处理避免污染环境;8)PLC控制人机界面操作显示能根据实际情况更改清洗参数。更多的太阳能光伏清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlcas.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 06 - 29
全自动制绒清洗机设备--CSE华林科纳(江苏)CSE密切跟踪太阳能光伏行业发展,致力于“设备+工艺”的研发模式,现生产的单多晶制绒设备已经形成了良好的客户基础和市场影响。生产工艺流程为:预清洗→制绒→扩散→刻蚀→去PSG→PECVD→印刷→烧结太阳能电池片湿法设备主要技术特点:1.独特的双槽制绒工艺槽设计;2.分立式加热系统保证溶液均匀性并降低运营成本;3.多通道注入结构实现制绒工艺槽溶液均匀性控制;4.机械传动特殊设计及人性化安全保证;5.适应性强的工艺过程控制。产品描述1)主要用于对硅材料行业中多晶硅块进行清洗干燥处理。2)工艺流程:根据客户需求定制,可处理腐蚀、清洗、超声、加热、干燥、上料 、喷淋 、酸洗、漂洗、下料等工艺;3)控制方式:手动或自动4)材质:根据客户及工艺需求选用,可选PP、PVC、PVDF、石英、不锈钢等材质,保证设备的耐用性;5)槽体的槽底均为倾斜漏斗式结构,便于清洗和排渣;  6)设备设有旋转装置使工件达到更好的清洗效果;7)顶部设有排雾系统结合酸雾塔进行废雾、废水处理避免污染环境;8)PLC控制人机界面操作显示能根据实际情况更改清洗参数。更多的太阳能单晶多晶硅片制绒腐蚀清洗机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlcas.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 06 - 09
硅片湿法清洗技术与设备---华林科纳CSE硅片制造过程中,在进行下一步工艺前要获得 一个洁净的表面,以保证后道工艺能再一个完全洁 净的表面上进行,这就需要对硅片进行清洗。清洗是硅片制造过程中重复次数最多的工艺。目前,在 清洗工艺中使用最多的就是湿法清洗技术,华林科纳半导体设备公司的硅片湿法腐蚀清洗机在半导体行业得到了很多客户的认可.1 硅片湿法清洗的种类1.1 刷洗刷洗是去除硅片表面颗粒的一种直接而有效的方法,该清洗技术一般用在切割或抛光后的硅片清洗上,可高效地清除抛光后产生的大量颗粒。刷洗一般有单面或双面两种模式,双面模式可同时清洗硅片的两面。刷洗有时也与超声及去离子水或化学液一起配合使用,以达到更好的清洗效果和更高的清洗效率。1.2 化学清洗1.2.1 RCA 清洗20 世纪 60 年代,由美国无线电公司(RCA)研发了用于硅片清洗的 RCA 清洗技术,这种技术成为后来各种化学清洗技术的基础,现在大多数工厂所使用的清洗技术都是基于最初的 RCA 清洗法。RCA 清洗是按照一定的顺序依次浸入两种标准清洗液(SC-1 和 SC-2)中来完成,这两种清洗液的使用温度一般在 80 ℃以内,有时也需要将溶液冷却到室温以下。1.2.2 改进的 RCA 清洗RCA 清洗一般都需要在高温下进行,并且化学液的浓度很高,这样就造成大量消耗化学液和去离子水的问题。目前,很少有人还按照最初的 RCA化学液配比进行湿法清洗。在 RCA 清洗的基础上,采用稀释化学法,将SC-1、SC-2 稀释到 100 倍以上,也可以达到甚至超过最初的 RCA 清洗效果。改进的 RCA 清洗方法最大的好处是减少了化学液的消耗,可使化学液的消耗量减少 85﹪以上。另外,附加兆声或超声能量后,可大大降低溶液的使用温度和反应时间,提高溶液的使用寿命,大幅度降低了生产成本,同时,低浓度化学液对人体健康和安全方面...
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花篮/片盒清洗机-华林科纳CSE 完美适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒(Foup片盒)的清洗和干燥系统优点装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒,同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求 CleanStep I – 用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花篮和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒 CleanStep II – 用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒 CleanStep III – 用于6组前端开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组前端开口片盒(Foup片盒)清洗产能:每小时18组前端开口片盒(Foup片盒) 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(Cleanstep I/II) 适用于所有片盒一次清洗过程 或是同时4组花篮和片盒,或是12个花篮(Cleanstep I/II) 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒 通过控制系统对自锁装置的检测,达到安全加载片盒和花篮,及其运行特征和优点可应用不同化学品(稀释剂)来清洗 泵传输清洗液 计量调整可通过软件设置控制操作热水喷淋装置 热水一般由厂务供应 — 标准化 或有一个体积约100升的热水预备槽(循环泵和加热棒用于热水预备槽—选项) 笼子 带有可变速旋转的控制的高扭矩伺服电机(按照加载量和设备配置,最大旋转速度200rpm,) 旋转的不锈钢笼子 会自动停止工作(运行过程中出现失衡状态时)热空气干燥 顶端吹下热空气 采用根据设备待机和工艺运行模式的可调风量的风扇装置 不锈钢架上装有加热器,可以温度控制 软件监控温度 带有反压控制的高效过滤器辅助功能和操作控制 触摸屏安装在前面—标准化 也...
RCA湿法腐蚀清洗机设备——华林科纳CSE华林科纳CSE湿法处理设备是国内最早致力于集成电路湿法设备的研制单位,多年来与众多的集成电路生产企业密切合作,研制开发出适合于4吋-8吋的全自动系列湿法处理设备设 备 名  称华林科纳(江苏)CSE-RCA湿法腐蚀清洗机使 用 对 象硅晶片2-12inch适 用 领  域半导体、太阳能、液晶、MEMS等设 备 用 途硅晶片化学腐蚀和清洗的设备主体构造特点1. 设备包括:设备主体、电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等;并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。2.设备为半敞开式,主体使用进口WPP15和10mm厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白PP板,热焊接而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中3.主体:设备为半敞开式,主体使用进口WPP15和10mm厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白PP板,热焊接而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中;4.骨 架:钢骨架+PP德国劳施领板组合而成,防止外壳锈蚀。5.储物区:位于工作台面左侧,约280mm宽,储物区地板有漏液孔和底部支撑;6.安全门:前侧下开透明安全门,脚踏控制;7.工艺槽:模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险;8.管路系统:位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明;药液管路采用PFA管,纯水管路采用白色NPP喷淋管,化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放;9.电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区,电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠;所有可能与酸雾接...
滤芯是过滤器的“心脏”,滤芯的好坏直接决定了过滤器的过滤能力,因此对滤芯进行完整性检测非常重要。只有通过完整性测试的滤器,才能保证整个过滤过程中的效率。 滤芯结构 华林科纳PFA系列全氟滤芯 华林科纳PFA系列全氟滤芯采用高洁净度的PTFE膜和PFA氟材料制作,适用于所有流体(强酸、强碱等)液体过滤。·封口有多种型号可选·滤膜孔径分布均一·加强支撑层,高压工作下无破损·折叠设计增加过滤表面积·中心杆及端盖均采用热熔焊接技术·洁净室生产·100%完整性测试
CSE PFA加热丝是一种高温恒功率加热丝,导体为进口品牌单股高强度镍铬合金丝,其特点为高电阻、高延展性和良好的抗腐蚀性能。它适合在高达 600°C (1110°F) 的温度下使用。寿命相比其他产品长约30%,能够减少很大的成本问题以及时间,人力上的问题。其机械性能如下图:其他性能详情请咨询华林科纳13358064333。 护套采用PFA材质,不受化学品和溶剂的影响,PFA原料选用进口品牌大金,耐高温(-60℃-200℃),耐腐蚀,耐酸碱,高纯度且透明度高。PFA加热丝阻燃性能特别好。当发生短路或高温火灾时,不会影响串联其他电路的风险,能有效阻燃,安全性能更高。
华林科纳PVDF过滤器特点:①优异的化学相容性   化学品专用过滤器,可提供100%纯PVDF材质的过滤器,应用于电子行业中的化学品和有机溶液的过滤②低残留   高纯度设计,低析出;上下游排气设计,确保料液的低残留③低离子析出   非金属材料结构,高纯度设计;无任何化学物质或着色剂等释出,有效控制④抗腐蚀   PVDF过滤器(配套使用PVDF/PFA滤芯)适用于高温腐蚀性及强氧化性溶剂的过滤华林科纳PVDF过滤器产品概要:产品保修期从销售日开始一年,保修期间,因本公司设计和制造上的问题造成的故障和损坏,会立即进行免费修理或者换货。
PFA是一种多功能聚合物,具有出色的耐化学性和耐热性。然而,它不如PTFA耐热。它具有优异的介电特性,介电常数为2.1。PFA的许多特性使它如此受欢迎,对各种公司和行业来说都是必不可少的。他的一些特性包括:·化学稳定·极好的绝缘强度·温度范围广·几乎能抵抗所有化学物质·低摩擦系数·高纯度华林科纳推出的CSE-PFA-SA系列管件采用原料Teflon PFA 951 HP Plus,原料具有出色的抗应力开裂性及最高的化学渗透性,在高渗透、渗透性的化学溶液(盐酸、氟、硝酸类化学溶液、氟类表面活性剂等)和高温过程中的渗透减少。CSE-PFA-SA系列盐酸透过量测定结果:PFA管规格:PFA管在千级洁净间生产,充分保证PFA管的洁净度,标准化生产线,对成型温度进行严格控制,成型温度350-400度,475度以上容易引起变色或发生气泡。PFA管拥有权威认证和检测报告。
随着科学技术的迅猛发展,高新技术在各行业中得到了广泛的应用。高科技含量的磁致伸缩液位计传感器,应用于各类储罐的液位测量。该种液位仪具有精度高、环境适应性强,安装方便等特点。因此,广泛应用于石油、化工等液位测量领域。并逐渐取代了其它传统的传感器,成为液位测量中的精品。磁制液位计可靠性更强,这是由于其采用磁致伸缩原理,无机械可动部分,故无摩擦,无磨损,整个变换器封闭在管内,和测量介质非接触,传感器工作可靠,寿命长。测量 精度高,分辨率优于0.01% F.S.这是用其它传感器难以达到的精度。此为部分参数表格,详情咨询13358064333。 磁致伸缩液位计采用标准输出信号,便于微机对信号进行处理,容易实现联网工作,提高整个测量系统的自动化程度。
风囊泵工作原理:压缩空气进入泵的气相工作腔后,压缩风囊变形移动,通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作,利用液相腔的交替吸液排液,实现对液体的输送。华林科纳自主研发PTFE风囊泵,有CSE30、CSE60、CSE120三种型号,无金属设计,安全无泄漏,无橡胶O型圈,不漏水,无需紧固,可满足200万以上的形成周期使用。风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用:(1)药液恒温控制:由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器,制冷机或加热器等组成温度控制系统。通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。(2)药液的循环过滤:由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤,均匀流场。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。(3)废液回收和再利用:120℃以上强腐蚀性药液(如SPM)使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道,由于温度高,将导致排液管道的损坏,引起安全事故,采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长,影响生产效率。一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽,在降温槽内降温后再排入排废管道,这种方法即节省了时间,又保证了生产的安全性,被业界所广泛采用。
PFA接头专业应用于高纯度的半导体行业,也适合于超纯水或腐蚀性化学物质,在-40℃至200℃之间可维持良好的尺寸稳定性和耐腐蚀性,并具有良好的机械特征,抗磨损。pfa接头不易脱落:由于采用了在管件内插入环的内环型机构,因此管件不会脱落,并足以承受管件的破坏压。 华林科纳生产的PFA接头满足半导体制造过程中每个重要项目的先进和多样化要求,满足“安全性”“清洁度”“在高温下使用”和“对管道尺寸的适应性”等要求。 入珠接头优势:入珠接头比扩口接头更适用于高压应用,具有良好的密封性和更牢固的连接方式,对任何化学液体,即使具有高渗透性能的液体也不会渗出;流道的截面积下降不大,流道不会被干扰减少微泡沫/液体的积累。 接头规格:扩口接头规格:1/4”-1”,入珠接头规格:1/8”-1”,焊接接头规格:1/4”-1-1/2”。接头类型:直通、90°弯头、三通以及对应的外牙接头和变径型号等组合。 应用流体:盐酸、硝酸、双氧水以及其他一些有超高纯、防腐蚀要求的化学品流体 应用行业:化工、制药、半导体、光伏、电镀等行业。氟塑制品部产品均在洁净车间生产、装配、测试及封装。
联系电话:18913575037,邮箱:service@flowtech-semi.com
KOH 混液供应系统设备介绍:l 设备形式:室内放置型l 操作形式:自动l 设备名称:KOH混液供应系统l 数量:1(套);l 设备尺寸:以最终设计图纸为准;l 设备系列型号:CSE-CDS-2020---l 额定功率:220V  3kw    设备构造l 该设备主要由药液放置区、动力供应区、电控部分,操作区组成。l 骨架:SUS304主架;l 主体:德国新美乐12mm象牙白PP;l DI GUN:选用美国 派克 PFA  DI水枪,PP 3/8”标准弹簧管;l 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;l 三色报警等和蜂鸣器;安全保护l 设备采用耐腐蚀导线并通过PE管进行保护,防腐防水;l 电控部分正压空体保护,防水防腐;l 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;l 设有EMO 装置紧急按钮开关;系统原理MIX TANKl 系统设有两套Mix  tank,均采用德国劳士领NPP 材质,容积***L(以最终设计为准);热成型圆桶;TANK底部*******,便于液体排放干净;TANK顶部*******,*******气动阀门自动控制,PLC 一键换液功能(********自动添加新液);l 液位传感器:TANK上设有********l 配水管路:TANK ******** 进水管路,分别为********;l 供液管路:设有********隔膜泵********设有********阀门,压力传感器、流量计********;l 回液管路:回液管路为********规格,设...
抛光液供液系统//抛光液供酸系统//抛光液供液设备//抛光液供酸设备设备功能1.提供抛光液和表面活性剂供应缓存桶,从而保证设备工艺流量稳定;2.提供温度,PH值控制,以满足抛光设备的工艺需求;3.满足stock slurry循环使用需求;特点:1.所有Tank箱体采用SUS304框架+米黄PVC 保管,需配置排气,排液,排漏以及漏液检测报警。2.Tank材质采用NPP或PVDF以上,管道使用PFA,选用材料对slurry无颗粒和金属污染(包括Pump内部与Slurry接触部分);3.Stock slurry tank配置chiller(指定ORION CHILLER)和heater,4.Tank内的 Slurry 以及Surfactant处于常时循环状态, 供应设备管路末端有压力表;5.为检测Tank内 Slurry 以及Surfactant的容量(Level), 配置***个**液位传感器;6.所有Tank配置水枪,同时slurry桶上部能开启,以方便冲洗Tank。7.所有的 Tank内要配置温度和PH sensor,同时需要将数据同步传送给设备主机;8.Tank使用控制面板进行显示和操作控制。 供液泵使用磁力泵或磁浮泵,满足现场实际扬程,流量等能力需求。9. 每个tank外部供应管路配置有自动配送阀并由设备自我控制。更多抛光液供液系统//抛光液供酸系统//抛光液供液设备//抛光液供酸设备可以关注华林科纳(江苏)半导体设备有限公司官网www.hlkncse.com,热线0513-87733829
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