自动炉管清洗机 图1 图2 图3 图4 图1是本发明实施例的供液原理示意图；图2是图1中的清洗装置的结构示意图；图3是图1中的储液装置的结构示意图；图4是图2清洗装置中的旋转装置的结构示意图。 图中：1、储液装置 2、清洗装置 &#...
半导体湿法工艺实验平台于2019年完成建设，实验室提供湿法工艺实验验证和核心功能模块演示服务。由于工艺实验涉及纳米尺度的工艺，对实验环境有特定的需要，因此配备了专门的隔离空间及回风过滤系统，也配备了超纯水DIW、压缩干燥空气CDA以及废气处理系统等工艺辅助设施，已能够满足用户产品及工艺的快速验证。湿法刻蚀清洗可以提供2”-12”晶圆的湿法刻蚀实验台、超声兆声清洗实验台、IPA干燥慢提拉实验机、甩干机（立式、卧式）、CDS供液系统等不同类型的设备，能够满足绝大多数用户在刻蚀、清...
电子工厂化学品供应与回收系统概述由于电子产业的生产需要使用大量的化学品，而这些化学 品都具有一定危险性，稍有疏忽，就会造成重大的人员伤亡 和设备的损失，因此，如何将这些化学品在保证品质的前提下安全输送到使用点，如何将这些使用过的化学品合理地回 收处理，将是电子工厂生产安全的重要问题。由此看来，电 子工厂中化学品的供应与回收系统之改进、优化仍是值得探 究的。 原来国内大规模集成电路生 产线所需的化学品供给、回收系统管道完全由海外公司承揽施工，随着国内 IC 制造业的发展，国内一...
CSE华林科纳——诚邀各位业内朋友莅临参观我司在SEMICON China 2017的展位，欢迎大家一起交流与探讨，以便于更深的合作；我们的技术团队会在T1馆T113展位恭候大家的光临，希望我们的技术和经验能够帮助大家解决半导体、光伏、MEMS等行业在湿法腐蚀清洗中遇到的问题和挑战。如何能找到我们我们的展位在 TI 馆 T113 展位。公司的介绍苏州华林科纳半导体设备技术有限公司（简称CSE）成立于2008年3月，总投资4500万元； 目前已形成湿法清洗系统、刻蚀...
---华林科纳CSE 小编随着超大规模集成电路的发展、集成度的不断提高、线宽的不断减小，对硅片表面的洁净度及表面态的要求也越来越高。要得到高质量的半导体器件，仅仅除去硅片表面的沾污已不再是最终的要求。在清洗过程中造成的表面化学态、氧化膜厚度、表面粗糙度等已成为同样重要的参数。目前，通常应用的清洗方法是湿式化学清洗法，苏州华林科纳半导体设备技术有限公司（CSE）多年经验专注于半导体湿式清洗工艺解决方案。即利用有机溶剂、碱性溶液、酸性溶液、表面活性剂等化学试剂，配合兆声、超声、加...