1.设备概况
l 名称：RCA湿法腐蚀清洗机
l 机台尺寸 :1900mmWx1400mmDx2000mmH
l 清洗能力：2--6寸圆片，25片/篮
2.主体构造特点
l 规范：本设备的设计、选购、制造、检验和测试均按照相关国家、半导体行业标准（SEMI-S2-93）执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证，但合同中或技术文件中另有规定的除外。外购配件执行相应的国家标准、行业标准、规范及企业标准；
l 设备包括：设备主体、电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等；并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。
l 主体：设备为半敞开式，主体使用进口WPP15和10mm厚板材，结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏，机台底盘采用德国产瓷白PP板，热焊接而成，可长期工作在酸碱腐蚀环境中；
l 骨 架：钢骨架+PP德国劳施领板组合而成，防止外壳锈蚀。
l 台面：高度为850mm；
l 储物区：位于工作台面左侧，约280mm宽，储物区地板有漏液孔和底部支撑；
l 安全门：前侧下开透明安全门，脚踏控制；
l 工艺槽：模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。底盘采用满焊接工艺加工而成，杜绝机台的渗漏危险；
l 管路系统：位于设备下部，所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明；药液管路采用PFA管，纯水管路采用白色NPP喷淋管，化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放；
l 电气保护：电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区，电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠；所有可能与酸雾接触的电气及线路均经PFA防腐隔绝处理，电气柜CDA/N2充气保护其中的电器控制元件；
l 排 风：后部排风和下沉式设计，风量可调节，对操作员有安全保护；
l 送风：设备顶部有FFU百级净化送风装置，设备沿前侧板镶嵌入墙体，保证后上部送风；
l 照明：工作区顶部配有双光日光灯照明；
l 水汽枪：机台前部配备有PTFE纯水枪和PTFE氮气枪各1只置于右侧，方便操作员手工清洗槽体或工件；
l 机台支脚：有滑轮装置及固定装置，并且有高低调整及锁定功能。
l 安全保障：完善的报警和保护设计，排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁，直观的操作界面，清晰的信息提示，保障了生产、工艺控制和安全性三色警示灯置于机台上方明显处。
3.控制系統
l PLC可程式控制器（欧姆龙）＋PROFACE 彩色人机界面操作。
l 模块化软件、硬件设计，减少故障几率，便于安装和维护；
l 空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀，针阀、三色警灯等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等电气产品，安全可靠；
l 配备漏电断路保护、隔离变压器、漏液检测、EMO开关等安全保护装置；
l 所有程序参数可修改，操作模式可分为自动/手动，加液和花篮传递为手动；
l 电路区功能分块，强电、弱电块，便于维护；
l 电气控制部分均有清晰的标签注明
l 具密码保护功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入手动模式。
Password-3可进入编辑模式修改制程参数。
4.安全保护
l 设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护，防腐防水；
l 设有防漏电断路保护装置；
l 电控部分正压空体保护，防水防腐；
l 配有漏电流断路保护装置以及过温过载保护装置。
l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
l EMO紧急开关位于机台上方明显处。
l 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；
l 机台底部设有防漏盘及漏液感知；
l 液位异常感知/安全液位保护；
l 配有加熱保护，防干烧；