废气处理系统-华林科纳（江苏）CSE
华林科纳（江苏）半导体CSE 的废气处理系统可处理气体:酸性气体、碱性气体、其它特殊气体，负压范围为:-500Pa 至 -1500Pa；
设备名称 | 华林科纳（江苏）CSE-废气处理系统 |
系统说明 | 1.可处理气体:酸性气体、碱性气体、其它特殊气体，负压范围为:-500Pa 至 -1500Pa； 2.工艺稳定,负压波动在15%. 3.电压:380V，三相五线，8KW； 4.采用英国废气处理系统工艺，CSE在原工艺上经过升级改造，新的系统推出市场后，客户反映效果较好； |
系统工作原理 | 为酸性/碱性/其它特殊气体处理系统，主要由以下几大部分组成：负压腔、正压腔、初级锥形喷淋塔、三级喷淋净化塔、高压射流器、抽风孔、负压动力泵、循环喷淋泵、电控系统; 废气经过一级锥形喷淋塔进入负压腔内（每个喷淋塔中间为伞装型喷头，对废气层形成水封，瞬间中和废气）、通过射流器产生负压把负压腔内的废气抽入正压腔内中和（在负压腔与正压腔之间设有三级喷淋净化塔，三级喷淋净化塔内配有PP填料，配有喷嘴，再次充分喷淋中和废气）、处理完的气通过正压腔上的排气口排出。 |
成功案例 | 河北普兴电子有限公司
上海新傲半导体有限公司
上海硅酸盐研究所中试基地
苏州纳维科技有限公司 |
设备制造商 | 华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ；18913575037 |
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