单腔立式甩干机-华林科纳CSE
华林科纳（江苏）CSE-单腔立式甩干机系统应用于各种清洗和干燥工艺
设备名称 | 华林科纳（江苏）CSE-单腔立式甩干机 |
优 点 | 清洗系统应用于各种清洗和干燥工艺 > 不同配置（可放置台面操作的设备、单台独立、双腔） > 适用于晶圆尺寸至200mm > 最佳的占地，设备带有滚轮可移动 > 优越的可靠性 > 独特的模块化结构 > 极其便于维修 > 易于使用和操作 |
一般特征 | 适用于晶圆直径至200mm > 25片晶圆单盒工艺 > 标准的高边和低边花篮 > 可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺 > 用冷或热的N2辅助晶圆干燥 > 离心头容易更换 图形化的界面： > 基于PLC的彩色5.7“的触摸屏 > 可以编辑10多个菜单，每个菜单可有10步 > 多等级用户密 去静电装置安装于工艺腔室区 > 去离子水回收 > 电阻率监测装置 > 机械手自动加载 > 可放置台面操作的设备、单台独立、双腔 > SECS/GEM > 去离子水加热系统 > 底座置放不锈钢滚轮 > 溶剂灭火装置 > 适用特殊设计的花篮 |
设备制造商 | 华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 0513-87733829； |
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