设备名称：高温磷酸清洗机

设备型号：CSE-SZ2011-16
整机尺寸：约2800mm（L）×1200mm(w)×1900mm（H）
节拍：根据实际工艺时间可调
清洗量：
批量清洗时，采用提篮装片，单次清洗圆片的数量要求如下
2＂外延片，每次不少于1蓝，每篮不少于25片
4＂外延片，每次不少于1蓝，每篮不少于20片
6＂外延片，每次不少于1蓝，每篮不少于20片
框架材料:优质10mm瓷白PP板机壳，优质碳钢骨架，外包3mmPP板防腐
机台底部：废液排放管路，防漏液盘结构
机台支脚：有滑轮装置及固定装置，并且通过可调式地脚，可高低调整及锁定功能

DIW上水管路及构件采用日本积水CL-PVC管材，排水管路材质为PP管排风：位于机台后上部
工作照明：上方防酸型照明
台面板为优质10mmPP板（带有圆形漏液孔，清除台面残留液体）
附件：水、气枪左右各两套
控制方式：PROFACE/OMRON + 三菱、OMRON 品牌 PLC 组合控制；
安全保护装置：
      ●设有EMO(急停装置)， 
      ●强电弱点隔离
      ●设备三层防漏  托盘倾斜   漏液报警  设备整体置于防漏托盘内

台面布置图：

各槽工艺参数