SPM腐蚀清洗机设备——华林科纳CSE
华林科纳CSE湿法处理设备是国内最早致力于集成电路湿法设备的研制单位，多年来与众多的集成电路生产企业密切合作，研制开发出适合于4吋-8吋的全自动系列湿法处理设备。
其中SPM自动清洗系统设备主要用于LED芯片制造过程中硅片表面有机颗粒和部分金属颗粒污染的自动清洗工艺。
设 备 名 称 | 华林科纳（江苏）CSE-SPM腐蚀酸洗机 |
适 用 领 域 | LED外延及芯片制造 |
设 备 用 途 | 硅晶片化学腐蚀和清洗的设备 |
基 本 介 绍 | 主要功能：通过对硅片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果 可处理晶圆材料：硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等 被清洗硅片尺寸:2-8寸（25片/蓝） 设备形式：室内放置型 操作形式：自动 |
设备制造商 | 华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096；18913575037 |
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