零部件清洗机_华林科纳CSE

CleanStep的零部件被设计用于PECVD刻蚀清洗设备，以及石墨舟、石 英舟、碳化硅舟等扩散舟的刻蚀和清洗设备。

优点

> 通过关闭的工艺腔室的安全操作，加载和仅一次工艺腔室 冲洗之后卸载，完成整个工艺过程。

> 安全门自锁装置

> 工艺腔室保护防止水溢流

> 排风监控部件

> 用于门自锁的电导传感器（仅适用于石英舟清洗设备）

> 简便、安全操作的高品质触摸屏

> 很少的化学品消耗产生最小的生产费用，与浸泡式工艺相 比至少节约2-3倍

> 减少了操作次数

> 化学品的消耗，与浸泡式工艺相比要少于大约10倍

> 稳定的清洗工艺，水的消耗，与浸泡式工艺相比少于2倍

> 设备高利用率和低维修率，得益于它独特的模块化设计和 长寿命零部件的应用

> 最佳的占地

应用

CleanStep的零部件被设计用于PECVD刻蚀清洗设备，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等扩散舟的 刻蚀和清洗设备。标准化设计的设备是用于2个石墨舟或4个石英舟的清洗。同时也强有力的证明 了用喷淋工艺代替浸泡工艺不仅节约了工艺时间，同时也节约了化学品的消耗量。

选项

> 废液槽起重装置

> 系统外壳结构[FM认可材质]

> HF有毒气体检测装置

> Centrotherm 一套石墨舟花篮可装载19片到21片晶圆«可拆卸石墨舟«

> Centrotherm 一套石墨舟可装载23片«可拆卸石墨舟«

> 石英部件清洗的石英舟夹具

> 漏液盘连接阀

> 电阻率监测装置

> 手动加载花篮干燥的烘干箱

> 30升的HNO3 / HF/ DI-H2O的预备槽

> 独立的设备化学品供应用于回收用过的HF

> 氮氧化物有毒气体检测装置

> 晶圆背面腐蚀的ACL片盒夹

> N2 净化

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