1.设备概况
l 设备名称：金属去胶清洗机 l 整机尺寸(参考)：约2300mmL×1400mmW×2000mmH；
l 硅片尺寸：2寸～6寸
l 工作环境：室内放置；
l 操作形式：手动
l 重量：650Kg( 大约)；
2.整机构造
l 骨架：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
l 外壳：德国进口10mmPP板；
l 安全门：采用透明上下推拉门；
l 管路：管路位于下后部，以节省空间，采用英制接口；
l 灭火系统：烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部；
l 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；
l 工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；
l 台面板为优质不锈钢材质（带有漏液孔）；
l DI/N2 GUN：可伸缩的DI水枪和气枪各2把，分置于工作区两侧；
l 人机界面：Touch Screen彩色界面；
l 支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
l 三色报警等和蜂鸣器
3.控制系统
l PLC可程式控制器（欧姆龙）＋Touch Screen彩色人机界面操作。
l 制程参数皆采用可设定、修改；
l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
l 配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；
l 具Password功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入编辑模式修改制程参数。
Password-3可进入手动模式。
4.安全保护
l 设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护，防腐防水；
l 设有防漏电断路保护装置；
l 电控部分正压空体保护，防水防腐；
l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
l EMO 装置紧急按钮开关；
l 蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；
l 烟热感应CO2自动灭火系统位感应到烟热后自动灭火保护；
l 机台底部设有防漏盘及漏液感知；
l 液位异常感知/安全液位保护；
l 加熱过温保护和防干烧；
5.工作位参数
| 工序 | 辅助 | 处理液 | 温度 | 材质 | 盖 | 抽风 |
1 | 超声加热槽 | 加热 | 石脑油，丙酮，异丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
2 | 超声加热槽 | 加热 | 石脑油，丙酮，异丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
3 | 超声加热槽 | 加热 | 石脑油，丙酮，异丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
4 | 超声加热槽 | 加热 | 石脑油，丙酮，异丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
5 | 超声加热槽 | 加热 | 石脑油，丙酮，异丙醇 | ﹥100℃ | 316 | 有 | 有 |
6 | IPA槽 | / | IPA | RT | 316 | 有 | 有 |
7 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
8 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
9 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
10 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
11 | QDR槽 | 鼓泡+溢流 | DI水 | RT | NPP | 有 | 有 |
12 | 烘干槽 | 加热 | 氮气 | 60～120℃ | 316 | 有 |
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