花篮/片盒清洗机-华林科纳CSE

完美适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒 （Foup片盒）的清洗和干燥系统

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒（Foup片盒） 三种设备尺寸满足客户特殊需求

> CleanStep I – 用于4组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次4组花篮和片盒 清洗产能：每小时12组花篮和片盒

> CleanStep II – 用于8组花篮和片盒 加载和清洗能力：每次8组花篮和片盒 清洗产能：每小时24组花篮和片盒

> CleanStep III – 用于6组前端开口片盒（Foup） 加载和清洗能力：每次6组前端开口片盒（Foup片盒） 清洗产能：每小时18组前端开口片盒（Foup片盒）

> 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼 (Cleanstep I/II)

> 适用于所有片盒一次清洗过程

> 或是同时4组花篮和片盒，或是12个花篮(Cleanstep I/II)

> 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 > 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

> 通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花 篮，及其运行

特征和优点

可应用不同化学品（稀释剂）来清洗

> 泵传输清洗液

> 计量调整可通过软件设置控制操作

热水喷淋装置

> 热水一般由厂务供应 — 标准化

> 或有一个体积约100升的热水预备槽（循环泵和加热棒用于热水预备槽—选项）

 笼子

> 带有可变速旋转的控制的高扭矩伺服电机（按照加载量和设备配置，最大旋转速度200rpm,） > 旋转的不锈钢笼子

> 会自动停止工作（运行过程中出现失衡状态时）

热空气干燥

> 顶端吹下热空气

> 采用根据设备待机和工艺运行模式的可调风量的风扇装置

> 不锈钢架上装有加热器，可以温度控制

> 软件监控温度

> 带有反压控制的高效过滤器

辅助功能和操作控制

> 触摸屏安装在前面—标准化

> 也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制—选项

其他特征

> 工艺腔室内LED灯光照明

> 可安装去静电装置和电阻率监测装置——选项

> 稳定、亚光不锈钢笼子

> 材料的外壳—可选择符合FM4910标准

> PP材料的工艺腔室—可选择符合FM4910标准

> 设备前面带有滑动门—标准化为手动/可选择自动

> 设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

> 其他种类的花篮和片盒相适应的组件—选项

图形化的界面

> 易于操作和控制

> 10“触摸屏PLC控制器

> SECSII GEM接口—选项

> 授权访问的密码保护

> 可以编辑40多个菜单，每个菜单可有50步

> 可变量数据输入（时间、温度、速度等）

> 设备背面安装第二个触摸屏—选项

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