配件耗材 - 蚀刻机设备 - 化学品灌装 - 华林科纳半导体设备有限公司

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外延片清洗机-CSE

发布时间： 2017 - 12 - 06

在LED外延及芯片制造领域，湿法设备占据约40%以上的工艺，随着工艺技术的不断发展，湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备，如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。华林科纳（江苏）CSE深入研究LED生产工艺，现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为：外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备设备名称华林科纳（江苏）CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封，具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制，功能强大，操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商华林科纳（江苏）半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ；18915583058更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网（www.hlkncse.com），现在热线咨询400-8798-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。

旋转式喷镀台-CSE

发布时间： 2017 - 12 - 06

旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点，在6＂（150mm）晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成，一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、Ｎ２保护单元组成的阴极回转体，二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下：从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出，采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中，阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决，从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式，可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射，实现搅拌功能，消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构，镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行，可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证，镀液入口采用扇形喷咀式结构，可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。华林科纳（江苏）CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理，由于结构上的特点，该方法经实验验证具有：①结构简单；②工艺参数控制容易；③有利气泡的消除；④镀制均匀性得到提高；⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺，同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统，目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用，产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标：最...

双腔甩干机

发布时间： 2016 - 06 - 22

双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台，可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下. 2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計，隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子，並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨，並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告 5. 電控系統l 控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...

枚叶式清洗机-华林科纳CSE

发布时间： 2016 - 03 - 07

枚叶式清洗机-华林科纳CSE华林科纳（江苏）半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长：单片式清洗装置的优点（与浸渍.槽式比较）1.晶片表面的微粒数非常少（到25nm可对应）例：附着粒子数…10个/W以下（0.08UM以上粒子）（参考）槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…（例）1%DHF的情况 20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size（根据每个客户可以定制）液体溅射（尘埃强制除去）（推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网（www.hlkncas.com），现在热线咨询400-8768-096；18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。

自动供酸系统（CDS）-CSE

发布时间： 2016 - 03 - 07

自动供酸系统（CDS）-华林科纳（江苏）CSEChemical Dispense System System 华林科纳（江苏）半导体CSE-CDS自动供酸系统适用对象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送，经管道至设备；具有自动化程度高，配比精确，操作简便等特点；具有良好的耐腐蚀性能。控制模式：手动控制模式、自动控制模式设备名称华林科纳（江苏）CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统（Chemical Dispense System System）简称：CDS2. CDS 将设置于化学房内：酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房；3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材，内部管路及组件采PFA 451 HP 材质；4. 系统为采以化学原液双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点；5. 过滤器：配有10” PFA材质过滤器外壳；6. 供液泵：每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸碱类采用一般型静电容近接开关；8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能：每种化学液体配两个桶（自动切换）、配两台泵（一用一备）、带过滤器；系统控制单元：配带OMRON 8”彩色触摸屏，OMRON品牌PLC系统；2. 操作模式： CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制，操作介面以流程方式执行，兼具自动化与亲和力。在...

单片清洗机CSE

发布时间： 2018 - 01 - 23

单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system华林科纳（江苏）CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗（包括光刻板清洗）刻蚀去胶金属剥离等；可处理晶圆尺寸2'-12'；可处理晶圆材料：硅砷化镓磷化铟氮化镓碳化硅铌酸锂钽酸锂等；主要应用领域：集成电路声表面波器件微波毫米波器件 MEMS 先进封装等设备名称CSE-单片清洗机类型单片式适用领域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清洗方式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量：1L/min/片4、蚀刻均一性良好（SiO₂氧化膜被稀释HF处理）：≤2%5、干燥时间：≤20S6、药液回收率：＞95%单片式优点1、单片处理时间短（相较于槽式清洗机）2、节约成本（药液循环利用，消耗量远低于槽式）3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构，占地面积小更多的单片（枚叶）式清洗相关设备可以关注华林科纳（江苏）半导体官网，关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096，18913575037

氢氟酸HF自动供液系统-CSE

发布时间： 2017 - 12 - 06

氢氟酸HF自动供液系统-华林科纳（江苏）CSEChemical Dispense System System 华林科纳（江苏）半导体CSE-氢氟酸供液系统适用对象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送，经管道至设备；具有自动化程度高，配比精确，操作简便等特点；具有良好的耐腐蚀性能。控制模式：手动控制模式、自动控制模式设备名称华林科纳（江苏）CSE-氢氟酸（HF）供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统（Chemical Dispense System System）简称：CDS2. CDS 将设置于化学房内：酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房；3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材，内部管路及组件采PFA 451 HP 材质；4. 系统为采以化学原液双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点；5. 过滤器：配有10” PFA材质过滤器外壳；6. 供液泵：每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸碱类采用一般型静电容近接开关；8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能：每种化学液体配两个桶（自动切换）、配两台泵（一用一备）、带过滤器；系统控制单元：配带OMRON 8”彩色触摸屏，OMRON品牌PLC系统；2. 操作模式： CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制，操作介面以流程方式执行，兼具自动化...

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PFA全氟滤芯

滤芯是过滤器的“心脏”，滤芯的好坏直接决定了过滤器的过滤能力，因此对滤芯进行完整性检测非常重要。只有通过完整性测试的滤器，才能保证整个过滤过程中的效率。滤芯结构华林科纳PFA系列全氟滤芯华林科纳PFA系列全氟滤芯采用高洁净度的PTFE膜和PFA氟材料制作，适用于所有流体（强酸、强碱等）液体过滤。·封口有多种型号可选·滤膜孔径分布均一·加强支撑层，高压工作下无破损·折叠设计增加过滤表面积·中心杆及端盖均采用热熔焊接技术·洁净室生产·100%完整性测试

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PFA加热丝

CSE PFA加热丝是一种高温恒功率加热丝，导体为进口品牌单股高强度镍铬合金丝，其特点为高电阻、高延展性和良好的抗腐蚀性能。它适合在高达 600°C (1110°F) 的温度下使用。寿命相比其他产品长约30%，能够减少很大的成本问题以及时间，人力上的问题。其机械性能如下图：其他性能详情请咨询华林科纳13358064333。护套采用PFA材质，不受化学品和溶剂的影响，PFA原料选用进口品牌大金，耐高温（-60℃-200℃），耐腐蚀，耐酸碱，高纯度且透明度高。PFA加热丝阻燃性能特别好。当发生短路或高温火灾时，不会影响串联其他电路的风险，能有效阻燃，安全性能更高。

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PVDF过滤器

华林科纳PVDF过滤器特点：①优异的化学相容性化学品专用过滤器，可提供100%纯PVDF材质的过滤器，应用于电子行业中的化学品和有机溶液的过滤②低残留高纯度设计，低析出；上下游排气设计，确保料液的低残留③低离子析出非金属材料结构，高纯度设计；无任何化学物质或着色剂等释出，有效控制④抗腐蚀 PVDF过滤器（配套使用PVDF/PFA滤芯）适用于高温腐蚀性及强氧化性溶剂的过滤华林科纳PVDF过滤器产品概要：产品保修期从销售日开始一年，保修期间，因本公司设计和制造上的问题造成的故障和损坏，会立即进行免费修理或者换货。

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PFA管（耐盐酸）

PFA是一种多功能聚合物，具有出色的耐化学性和耐热性。然而，它不如PTFA耐热。它具有优异的介电特性，介电常数为2.1。PFA的许多特性使它如此受欢迎，对各种公司和行业来说都是必不可少的。他的一些特性包括:·化学稳定·极好的绝缘强度·温度范围广·几乎能抵抗所有化学物质·低摩擦系数·高纯度华林科纳推出的CSE-PFA-SA系列管件采用原料Teflon PFA 951 HP Plus,原料具有出色的抗应力开裂性及最高的化学渗透性，在高渗透、渗透性的化学溶液（盐酸、氟、硝酸类化学溶液、氟类表面活性剂等）和高温过程中的渗透减少。CSE-PFA-SA系列盐酸透过量测定结果：PFA管规格：PFA管在千级洁净间生产，充分保证PFA管的洁净度，标准化生产线，对成型温度进行严格控制，成型温度350-400度，475度以上容易引起变色或发生气泡。PFA管拥有权威认证和检测报告。

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磁制液位计

随着科学技术的迅猛发展，高新技术在各行业中得到了广泛的应用。高科技含量的磁致伸缩液位计传感器，应用于各类储罐的液位测量。该种液位仪具有精度高、环境适应性强,安装方便等特点。因此，广泛应用于石油、化工等液位测量领域。并逐渐取代了其它传统的传感器,成为液位测量中的精品。磁制液位计可靠性更强，这是由于其采用磁致伸缩原理，无机械可动部分，故无摩擦，无磨损，整个变换器封闭在管内，和测量介质非接触，传感器工作可靠，寿命长。测量精度高，分辨率优于0.01% F.S.这是用其它传感器难以达到的精度。此为部分参数表格，详情咨询13358064333。磁致伸缩液位计采用标准输出信号，便于微机对信号进行处理，容易实现联网工作，提高整个测量系统的自动化程度。

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风囊泵

风囊泵工作原理：压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。华林科纳自主研发PTFE风囊泵，有CSE30、CSE60、CSE120三种型号，无金属设计，安全无泄漏，无橡胶O型圈，不漏水，无需紧固，可满足200万以上的形成周期使用。风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用：（1）药液恒温控制：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度控制系统。通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。（2）药液的循环过滤：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤，均匀流场。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。（3）废液回收和再利用：120℃以上强腐蚀性药液（如SPM）使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道，由于温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长，影响生产效率。一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽，在降温槽内降温后再排入排废管道，这种方法即节省了时间，又保证了生产的安全性，被业界所广泛采用。

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PFA接头

PFA接头专业应用于高纯度的半导体行业，也适合于超纯水或腐蚀性化学物质，在-40℃至200℃之间可维持良好的尺寸稳定性和耐腐蚀性，并具有良好的机械特征，抗磨损。pfa接头不易脱落：由于采用了在管件内插入环的内环型机构，因此管件不会脱落，并足以承受管件的破坏压。华林科纳生产的PFA接头满足半导体制造过程中每个重要项目的先进和多样化要求，满足“安全性”“清洁度”“在高温下使用”和“对管道尺寸的适应性”等要求。入珠接头优势：入珠接头比扩口接头更适用于高压应用，具有良好的密封性和更牢固的连接方式，对任何化学液体，即使具有高渗透性能的液体也不会渗出；流道的截面积下降不大,流道不会被干扰减少微泡沫/液体的积累。接头规格：扩口接头规格：1/4”-1”，入珠接头规格：1/8”-1”，焊接接头规格：1/4”-1-1/2”。接头类型：直通、90°弯头、三通以及对应的外牙接头和变径型号等组合。应用流体：盐酸、硝酸、双氧水以及其他一些有超高纯、防腐蚀要求的化学品流体应用行业：化工、制药、半导体、光伏、电镀等行业。氟塑制品部产品均在洁净车间生产、装配、测试及封装。

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PFA管

联系电话：18913575037，邮箱：service@flowtech-semi.com

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在线加热器

在线加热器由过滤器改制而成，加热丝有进口加热丝和国产加热丝之分，采用低温拉丝工艺，保证产品的尺寸，且有效防止加热丝由于在加工过程中产生损耗，导致本身寿命的降低。加热丝经过加工后，进行表面拉铁氟龙材质进行保护。可以在任何化学品中进行加热。铁氟龙材质采用大金原材料，保证了产品的质量，且会按照客户使用提出更加合适的铁氟龙配方，应对各种复杂的应用场景。加热丝拉氟完成后，进行计算，按照功率计算出米数，进行后套加工，完成后安装到在线加热器当中。加热器带有华林科纳自研的控制器，控制器可是加热器更加安全有效的工作。本公司生产的加热器是专门用于各种具有腐蚀作用液体加热的一种加热器，采用进口pt100Q，和高温型k型热电偶，具有使用寿命长、不腐蚀、不漏电、安全可靠以及优良的抗老化性和比较好的绕曲性能等优势;为保证使用安全，接头采取完全封闭式的设计，可以有效防酸碱，同时冷端及过热安全保护系统可完全按照客户需要定制。

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PP排放阀

1.外型结构紧凑美观2.本体重量轻容易安装3.耐腐蚀性能强，应用范围广4.材质卫生无毒5.耐磨损，容易拆卸，维护简单易行。

PVC一体阀

PTFE气动隔膜阀

隔膜阀采用高流量的紧凑型设计，隔膜可使流道内的腐蚀性介质与所有驱动部件处於完全隔离的状态，从而杜绝了通常阀门的“跑、冒、滴、漏”等弊端。由于隔膜阀的流道平滑，流阻小，故而可获得较大的流量。根据流体，可选膜片：EPDM / FPM / PTFE，因此具有优越的耐腐蚀的特点。本阀由阀体、阀盖、隔膜和其它驱动零件等组成。

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