自动炉管清洗机
图1
图2
图3
图4
图1是本发明实施例的供液原理示意图；
图2是图1中的清洗装置的结构示意图；
图3是图1中的储液装置的结构示意图；
图4是图2清洗装置中的旋转装置的结构示意图。
图中：
1、储液装置 2、清洗装置 3、供液管路4、废液回收管路 5、气控隔膜阀 6、供液泵7、气动阀 8、废液排放管 9、液位传感器10、控制系统 11、液位传感器 12、供液口13、药液回收口 22、旋转装置 23、溢流结构24、炉管 221、旋转电机 222、旋转支架223、滚轮
自动炉管清洗机，包括储液部和清洗部，储液部与清洗部通过供液机构连接，供液机构包括供液管路3，供液管路3上设有气控隔膜阀5，气控隔膜阀5采用软质材料制成的隔膜，将阀体内腔与阀盖内腔隔开，采用隔膜阀的操作机构，采用隔膜式气缸替代活塞式气缸，排除了活塞环易损漏而导致无法启闭阀门的弊端，不暴露运送的药液，故不具污染性，也不需要填料，保证炉管自动清洗的过程中药液不被污染。供液机构还包括供液泵6和设置于供液泵6与清洗部之间的液位检测装置，液位检测装置采用液位传感器11，液位传感器将信号发送至控制系统，自动控制储液装置内的液位高度，自动炉管清洗机还包括机械臂，清洗后的炉管，经机械臂自动进入干燥位干燥，解决了现有技术中炉管清洗后自然晾干，耗时时间长，采用此自动炉管清洗机，进行吹气干燥，加快生产效率。储液部与清洗部之间还设置有废液回收机构，因炉管清洗后药液浓度依然比较高，可以多次进行利用，废液回收机构包括废液回收管路4，废液回收管路4连接废液排放管8，废液回收机构还包括气动阀7，气动阀7设置于废液回收管路4与废液排放管8的连接处，气动阀7采用T型气动三通球形阀门，气动阀7由控制系统10控制，控制系统10采用PLC控制系统，可实现废液流向的切换，实现废液回收，或者关闭废液回收通道实现废液排放，可以灵活控制管路中的合流或者分流，结构紧凑合理，炉管清洗后由清洗槽将可利用药液经PLC控制气动阀7由废液回收管路4回收于储液槽1内，如果此次药液不可利用，经PLC控制管路阀门，直接将废药液排放到废液排放管8排出。
如图2所示，清洗部包括清洗装置2和设置于清洗装置2内的旋转装置，其中，清洗装置1和储液装置2均采用NPP材料制成，清洗装置1与储液装置2均为能容纳药液的容器，本
实例中，采用槽体结构。因炉管清洗的过程中不可避免的会用到酸碱等腐蚀液，采用NPP材料制成的清洗装置，耐腐蚀、不结垢，可避免因管道锈蚀引起的锈迹，且可免除管道腐蚀结垢所引起的堵塞，此外，在硅片生产的过程中，对炉管清洗具有很高的要求，采用NPP材质卫生、无毒属绿色建材，且耐高温、高压，管道输送水温最高可达95℃，质量轻，比重仅为金属管的七分之一，在规定的长期连续工作压力下，具有较长的使用寿命，安装方便可靠。如图4所示，旋转装置22包括旋转支架222和带动旋转支架222转动的旋转电机221，旋转支架222上设置有滚轮223，旋转装置22能够使需要清洗的炉管在槽内自动旋转，清洗更彻底，通过设置旋转装置，可以提高清洗效率，清洗结束后，药液由清洗装置2的底部设置排放口排空，排放口连接废液回收管路4，然后采用纯水冲洗炉管，清洗装置2的顶部设置溢流结构23，溢流结构23为直径在1-100mm之间的不规则圆孔，液体通过溢流结构流出清洗装置，清洗装置2能够对炉管、石英棒或其他配件等进行浸泡、水槽喷洗、水槽溢流漂洗、水槽氮气鼓泡等方式进行处理，从而达到一个优异的清洗效果。
如图3所示，储液部包括储液装置1和用于检测储液装置1内液位的液位检测装置9，本实例中，液位检测装置9采用液位传感器，液位传感器将信号发送至控制系统，自动控制储液装置内的液位高度，储液装置1包括设置于储液装置1上废液排放口以及供液口12，供液口12连接供液管路3，废液排放口连接药液回收管路。储液装置1还包括药液回收口13，药液回收口与所述清洗装置通过管路连接，用于回收清洗装置内能再次利用的药液，储液装置内液体液位的高低，由液位传感器9决定，液位传感器9发送信号给CDS供液系统，CDS供液系统将所需药液输送至储液装置1内，达到所需药液的容量，当储液装置1清理内部杂质后，废液会通过排放管8排放。
本实例的工作过程：当设备供液时，由控制系统控制气控隔膜阀5打开，供液泵6将药液由储液装置1输送至清洗装置2，液位高度由液位传感器输送信号至PLC控制系统，当清洗装置2内清洗结束后，如药液还可再利用，由气动阀7将药液由废液回收管路4将药液输送
至储液装置1内，在下次清洗时再用，如药液不能再用时，由气动阀7将药液通过废液排放管8排放，具有稳定性高、安全级别高、生产效率高，节省人员、减少化工料的使用及节水的功能，具有很高的实用价值。
本发明的有益效果是：
1.采用自动化设备，操作人员只需确认设备状态后，按下开始按钮即可通过控制系统控制自动完成每一步动作，大大缩减了操作人员的操作难度以及劳累程度，避免了炉管清洗过程中，手动对炉管进行搬运，容易因失误造成炉管损坏，作业员可同时兼顾其他设备作业，提高生产效率；
2.利用药液回收管路，气动阀通过控制系统控制，更加稳定，同时降低了生产成本，提高了生产效率，减少对可再利用药液的直接排放造成的浪费，并且避免了直接排放药液对环境的污染。
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