在半导体行业中，用于硅晶圆片和碳化硅晶圆片批量生产的外延炉的内腔因为耐高温、透光、无物质沾污的需求，基本使用高纯度石英材料制作，除了石英钟罩作为密闭腔体内用途外，为了保证晶体表面生长的气流均匀性和温度一致性，另外还会在腔体内放置各种形状的石英件。石英件的表面在一定次数的外延过程后，表面会沉积多种残留物质。这些残留物质在设备维护保养过程中定期清洗，否则会严重影响硅晶圆片和碳化硅晶圆片的外延层生长质量。

华林科纳是国内最早致力于湿法设备的研制单位，多年来与众多的半导体企业密切合作，研制开发适合的半导体清洗机设备。关于钟罩清洗机，其中又有卧式或立式的分别。

下图是一个卧式的钟罩清洗机。

它的优点是：

1.成熟专业的电气设计，友好的人机交互界面，提供更好地操作体验；

2.极高的生产效率；

3.结合最先进工艺技术，主体材质的整洁可靠，槽体的个性化定制，辅助功能齐全；

4.最佳的占地面积，节省空间；

5.优越的可靠性；

6.独特的模块化结构；

7.极其便于后期维修。

它的特征是：

1.可编制程序使得清洗管旋转，清洗更均匀，更全面；

2.配备的PVDF工艺槽，可耐一定浓度的酸碱；

3.装有清洗溶剂的储备槽（根据使用化学品的数量）放置在工艺槽的后下方

—直接注入且内部进行不断循环，使得清洗更彻底；

4.特别的喷淋嘴更益于石英管清洗；

5.集成水枪和N2枪，以获得更好的清洗效果，

6.单独排液系统，将废弃的药液统一排放到固定的容器内，避免污染环境；

7.安全盖子，保护槽体里的药液不会溅出槽体；

8.操作简单易学，便于控制；

9.节约用酸系统；

10.经济实惠的PP外壳材料。

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