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引言

作为光学部件的镜头，由于其光学特性，有各种各样的硝种，被认为是不可能用水清洗的，同时，由于其量产化的计划，无论如何都必须自动化，与大型照相机制造商共同研究，试制了光学镜头的超声波自动清洗装置，才确立了量产化。之后，镜头的自动清洗装置大量销售，并且通过清洗系统的改良、机构的简化、洗涤剂的开发、振动器的改良等，一直延续到现在。

实验

就像光学透镜一样， 液晶玻璃， 磁盘， 磁磁头 光掩膜等表面抛光的零部件的清洗， 已经有人说，如果不使用超声波清洗，就无法得到清洁面。当然， 超声波清洗不是全部，与其他清洗方法的组合，洗涤剂的选择，清洗系统的构成，干燥系统的构成等都是重要的因素，不要忘记。在原理上被认为是理所当然的。使用单一共振频率的振子强制制造驻波， 相反，我们需要做的是， 如何使安装有振动器的面有效地进行活塞运动。当然， 洗涤物， 如果进行机械性的摇摆运动，就会横穿气蚀发生区， 反而可以期待同样的洗净效果。

因此，与以往的使用空化的洗涤的想法不同。像这样，超声波洗涤有各种系统的组合方法，如果频率、振动器输入等不设定适当的值，洗涤物就无法洗涤，反而会造成损伤，因此必须十分注意这些系统的选定。因此，本公司一旦有洗涤委托，就会请教其前工序，即附着了什么样的污物，经过什么样的工序附着了污物，根据这些来决定洗涤系统。然后，进行实验，判断洗涤结果，进入该装置的设计。这样，洗涤系统的构成非常复杂，关于该洗涤需要经验，而且由于包含了很多技术诀窍，所以洗涤被认为是最容易的，也是最难的。下面介绍各种超声波自动洗涤装置的洗涤工序、特征等。

氟利昂溶剂的大气污染问题浮出水面， 因此，氟利昂溶剂受到限制，在清洗装置的干燥工序中，氟利昂逐渐无法使用，因此，关于其干燥，代替氟利昂的溶剂在各溶剂制造商开始销售，但是完全代替氟利昂的溶剂在现在看来很难。一部分超声波清洗装置制造商采取了封闭氟利昂的方式，即使勉强进行完全封闭也是一种方法。在测试例子中，有盘（3.5英寸，5英寸等）、陶瓷基板、液晶玻璃、塑料透镜等。

为了解决磁性磁头的加工过程复杂且精确的问题，并且必须在加工过程中进行各种洗涤。通过超声波清洗剥离头部，将头部掉落到网中。当然，由于会产生划痕的问题，所以设计轿厢是为了将各个头部放入网框中。这是根据粘着剂的种类，可以用一种液体进行清洗干燥的情况，也可以用碱清洗进行剥离，用水清洗进行溶剂干燥的多槽式的情况。由于各公司的粘着剂各不相同，所以必须对剥离液进行讨论。

抗滑动特性也很优异。另外，薄膜磁头轻，小，所以面向窄磁道，FDD用也批量生产了各种各样的种类。

为了清洗这样的各种磁头，请注意前一工序中的污垢，篮子的形状，超声波的振动方向，频率的选择等的因素必须考虑洗涤液系统。特别是HDD用复合头由于使用了一部分低熔点玻璃，如果在洗涤剂、纯水等中浸泡最长时间的话会损坏，所以洗涤剂的种子类，有必要选定清洗和水的超声波清洗时间。由于喷头表面附着有研磨剂、蜡等，所以用溶剂除去，用下面的洗涤剂除去无机物，这与玻璃的清洗是一样的。只是洗涤剂的效果好，必须容易水洗。

讨论和总结

关于光学刮水器、玻璃、陶瓷等表面抛光面的清洗，我们只介绍了具有代表性的各种装置、清洗工序，与半导体清洗精度的提高一样，清洗精度也会进一步提高，与此同时，自动清洗装置的完全自动化的要求也是近在咫尺。