一、技术参数要求
1、单晶硅棒物理参数要求:
备注:
1、质量分类,必须各项指标全部达到A等时,方可标注A等。按照国家和国际标准A等为合格等级;B\C\D等级为公司内部让步接受等级(内部采购和自产可做为合格判定),低于2μs做为不合格判定。
2、自产、自购单晶硅棒,必须按照寿命等级分类,生产加工工艺单明确注明等级。例如:HRA\HRB….
3、单晶硅棒的电阻率,头部电阻率ρ,必须大于等于尾部电阻率ρ;(ρ头≥ρ尾)
4、检验不合格的按照《检验管理流程》执行。
5、针对外圆滚磨的单晶硅棒,必须进行X射线定向仪检测,判定晶向,确定加工面〔(100)面〕
1.1 电阻率测量判定
A.留有头尾的单晶圆棒电阻率测量,测试表面电阻率值,测量前做好检测仪器校准;对硅棒表面用测量时必须用0#金刚砂纸打磨表面,见到光亮层,用高纯度酒精擦拭清洁方可测量电阻率。
单晶棒示意图
B.截去头尾或已断后的硅棒、硅片电阻率检测
测量点取中心点测量电阻率(测试时探针旋转180°测试两次取最小值),但中心电阻率超标时,测试边缘约6mm位置的电阻率,若边缘电阻率符合测试范围要求以此点电阻率值为准;
判定标准:0.5Ω.cm<ρ≤3Ω.cm和3Ω.cm<ρ≤6Ω.cm
示意图
1.2 原始硅单晶的直径要求
备注:局部尺寸不符合要求的要在检验报告中备注栏注明直径和长度,并现在硅棒上明确标识出位置。
二、太阳能级单晶硅棒检验标准
1、单晶硅圆棒检验判定标准
备注: 1、对于超出合格标准的,来料检验依据标准判定不合格。
2、局部尺寸不符合要求的要在检验报告中备注栏注明直径和长度,并现在硅棒上明确标识出位置。
3、检验不合格的按照《检验管理流程》执行。
2、单晶硅棒硅棒截断端面偏差度要求(见示意图)
端面偏差度: ︱L1-L2︱≤2mm
端面垂直度: 90±2°
3、单晶硅方棒检验参数要求及检验标准
规格:125*125;103*103;156*156 ;2)
技术参数要求:(A、B、C、D;见:图D)
3.1 单晶硅方棒检验判定标准
备注:
1、对于超出合格标准的,来料检验依据标准判定不合格;
2、局部尺寸不符合要求的要在检验报告中备注栏注明直径和长度,并现在硅棒上明确标识出位置。
3、检验不合格的按照《检验管理流程》执行。
3.2 单(多)晶硅棒表面腐蚀质量要求
单多晶硅棒腐蚀后,表面目测六面均呈现出光亮面即为合格。在腐蚀操作时,硅棒表面光亮面一出现,停止腐蚀。
四、多晶硅棒检测要求和参数
1、多晶硅锭电阻率测试
1.1 电阻率标准
0.5Ω.cm<ρ≤3Ω.cm; 3Ω.cm<ρ≤6Ω.cm
1.2 测试点取样
在多晶硅锭尾部面采取中心点测量数值确定其材料的电阻率范围,进行记录。取样点见示意图
仪器在测量前要进行校准;取样点位置要用0#金刚砂纸打磨表面,见到光亮层,并用高纯度酒精擦拭清洁,方可测量电阻率,测试时探针旋转180°测试两次取最小值。
2、少子寿命测试
2.1 多晶硅锭少子寿命判定标准和氧碳含量数值
少子寿命:τ≥2μs ; 间隙氧含量(Oi):<8*1017 atoms/cm3;代位碳含量(C):<1*1018 atoms/cm3;
2.2 检测操作要求
多晶大方锭必须经过破方成6寸或8寸小多晶方棒,经过表面处理(腐蚀或机械抛光)去处损伤层,利用WT-2000寿命测试仪,按照《操作规程》要求进行测试,测试完成后按照寿命标准进行划出晶体寿命线,并记录参数和长度尺寸。(注意:要轻那轻放,防止损伤)
3、多晶硅棒尺寸要求(见示意图D)
五、单晶硅棒检验操作要求
a、拉晶完成后,硅棒存放于待检仓库,检验员准备检测器具、记录表和记号笔等工具。
b、首先,确认带有头尾单晶硅棒的电阻率范围,根据电阻率标准和实际测量点进行划线,同时确定整根硅棒的型号。
c、截断按照划线要求进行截断,头部截去帽盖(确保直径达到153毫米),分别截取头、尾样片,并按照头、尾顺序进行编号刻标记。(截取头、尾2毫米左右厚度的测试样片)
d、测量硅棒极性型号,为P型合格;N型不合格。
e、测量硅棒表面电阻率,以尾部起向上每间隔200毫米,测量硅棒电阻率(测量时必须用0#金刚砂纸打磨表面,见到光亮层,方可测量电阻率),并按照顺序做好电阻率测量记录;但是对于电阻率处于合格范围极限值时,按照10mm距离前后移动进行测量,找到极限点进行划线确认极限点位置。
f、根据测量电阻率范围和分布长度,按照0.5Ω.cm<ρ≤3Ω.cm和3Ω.cm<ρ≤6Ω.cm 范围用记号笔进行划线,同时做好记录表位置记录。生产截断根据划线位置进行截断。(若在同一范围长度超过300毫米的,由生产截断人员按照工艺规定进行截断,截断后通知检验人员进行编号、标识、记录)
g、对样片进行腐蚀处理,测量少子寿命和氧碳含量,并根据晶棒号做好测量数据记录。
h、参照少子寿命范围分布等级,进行记录和实物标识。同时根据尾部样片测量的少子寿命数据值,按照等级要求进行标识。明确尾部料的等级,仓库和生产人员根据等级要求分类保管。
i、生产过程、检验过程中的边皮料和碎裂硅片,必须按照少子寿命范围等级进行标记和分类。
(外协料除外,若外协边皮料留用,必须进行少子寿命测量分类)
六、检验检测环境、设备、方法
1、检测场所环境要求
i. 检验场所,非检验相关人员不得入内。与检验相关人员入内,必须遵照检验场所管理规定执行。
ii. 检验场所必须保持干净、整洁,满足检测环境要求的洁净。
iii. 检测环境温度23±2℃;相对湿度<55℃;有良好的照明。
iv. 非检验或必要操作相关人员,入内必须征得当班人员同意。
2、检测设备
长度类:游标卡尺、千分尺、钢直尺、钢卷尺
关键特性测量类:SDY-4四探针测试仪、SemilabWT-1000或1000B、SemilabWT-2000、光学显微镜、DLY-2 P-N导电类型鉴别仪、WQF-410红外光谱仪、YX2HB晶向测试仪、测厚仪 RT-100 电阻率测试仪
设备操作:按照相关的检测设备操作规程进行。
3、测试方法
参照相关国家或行业标准执行。
七、包装、储存和运输要求
1、包装要求
需要提供明细装箱单、产品合格证,包装上必须注明单晶编号、电阻率、规格型号、合格品等级。
2、储存要求
产品储存在清洁、干燥的环境中,温度10-40℃;湿度≤60℃;避免酸碱腐蚀性气氛,避免油污、灰尘颗粒气氛。
3、运输要求
产品运输过程中轻拿轻放、严禁抛掷,且采取防震、防潮措施。