太阳能电池片的浅结构是实现高效太阳能电池的有效途径之一，通常所说的浅结是指太阳能电池PN结结深小于0.3um，利用浅结可以显著的降低太阳能电池片表面的少数载流子复合速度，提高短波段的光谱响应。

一、调整方向
       1、提高少子寿命
       2、提高短波吸收
       3、减少死层
       4、提高开路电压

二、高方阻的缺点
       串联电阻Rs=电极电阻+体电阻+薄层电阻+接触电阻。高方阻使得表面薄层电阻明显增加，增大了Rs，降低了FF。
       方阻越高，需要越密的栅线与之配合，才能发挥出高方阻低表面浓度的优势，这其中有两个难点，其一是高方阻均匀性的控制，其二是银浆的选择，需要综合考虑银浆的导电特性、粘度等，使之适合密栅高方阻的印刷烧结。

三、高方阻实现方法
       1、低温淀积+高浓度淀积
       在较低温度下淀积一个低浓度的薄扩散层，接着在较高温度下加大源流量，在短时间内进行高浓度扩散。由于时间很短故只在表面堆积一层高掺杂浓度的磷硅玻璃层，这样会形成N+N结构，在理论上不仅能降低了串联电阻Rs，而且能提高开路电压Voc。
       2、低浓度淀积+高浓度淀积+推进
       由于方案1可能由于表面浓度过高，引起表面复合比较大，蓝光响应变小。我们可以在这基础上加一步在富氧下推进，这样就能更好的匹配表面浓度和结深。这样能在提高Voc的同时，提高Isc。

四、高方阻与烧结实验设计
       烧结目的：干燥硅片上的浆料，燃尽浆料的有机组分，使浆料和硅片形成良好的欧姆接触。
       1、银浆
       成分：玻璃粉、银颗粒、有机溶剂。
       银颗粒：主要起导电作用。
       玻璃粉：腐蚀硅片表面自然氧化层和减反射膜，同时起永久链接剂的作用，提高金属粉末烧结和金属层与硅片之间的黏结性。
       有机溶剂：分散金属和胶联成分，它通过载体润湿粉末表面，使浆料具有流变性。
       2、导电输运方式
       1）银晶粒与栅线直接接触；
       2）通过极薄的玻璃层隧道效应导通；
       3）通过金属颗粒沉积的玻璃层的多重隧道效应；
       3、欧姆接触形成过程
       1）有机物的挥发；
       2）玻璃料在减反射膜表面聚集；
       3）玻璃料腐蚀穿过减反射膜；
       4）玻璃料通过与Si发生氧化怀远反应产生腐蚀坑；Pb+Si→Pb+SiO2
       5）银颗粒在冷却过程中于腐蚀坑处结晶：
         A.与PbO和Si发生的氧化还原反应类似，玻璃中的Ag2和Si发生如下反应：Ag2+Si→Ag+SiO2
         B.Ag和被腐蚀的Si同时融入玻璃料中。冷却时，玻璃料中多余的Si外延生长在基体上，Ag晶粒则在Si表面随机生长。
         C.在烧结过程中通过氧化还原反应被还原的金属Pb呈液态，当液态铅与银相遇时，根据Pb-Ag相图银粒子融入铅中形成Pb-Ag相。Pb-Ag熔体腐蚀Si的晶面。冷却过程中，Pb和Ag发生分离，Ag在Si晶面上结晶。
       银浆料的类型：常规方阻正银浆料，高方阻、浅结正银浆料，常规方阻、高固含量正银浆料，高方阻、高固含量正银浆料，无铅正银浆料。
       新型电池浆料：两次印刷浆料，N型电池浆料，填孔印刷浆料（MWT电池）。
       4、实验方案
       目的：在与常规烧结工艺对比的基础上，寻找找出适合高方阻浅结的温度范围；
       高方阻浅结与常规工艺相比，最主要的变化是掺杂浓度的变化和结深的变化。问题：
       （1）常规工艺浆料是否适用？
       （2）烧结温度如何变化，变高或者变低？
       关键因素：时间（带速）、温度（最后两个温区）、浆料类型
       可控因素：排风、冷却水，对烧结过程影响较小。
       DOE方案：试验方案为全因子设计。关键因子共有4个，假设浆料类型既定，那么共有8种试验方法。在常规烧结温度的基础上分别调节带速、温度。