设备概述
华林科纳CSE硅片有机清洗机，设备设计由华林科纳聘请的从事半导体生产的专家亲自指导，采用国际先进的生产加工工艺，在超净厂房组装测试，有可靠的质量保障。设备由不锈钢骨架，外包10mm厚瓷白防火PP板，洁净美观，耐腐蚀。电控面板置于机台上方，方便操作，并有防腐蚀保护，具有严格的安全防护措置。此设备腐蚀清洗装置主要是浸泡式清洗腐蚀、清洗主体(槽体部分/管路部分等),抽风系统，电控及操作台等部分组成，腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠。适用于4、6、8英寸硅片的清洗处理，腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠。
设备结构
※ 此设备腐蚀清洗装置主要由水平通过式腐蚀、清洗主体(槽体部分/管路部分等),抽风系统,机械臂，电控及操作台等部分组成;
※ 设备工艺流程:根据设备所放场地布置要求(与客户沟通确定),设备左进右出，经手动放置上料位→AB清洗槽→AB清洗槽→DI冲水槽→HCL清洗槽→DI溢流槽→下料台，工艺处理合格后经操作人员手动下料;
※ 安全门：进口优质透明PVC活动门（左右、上下推拉式），防止有毒气体挥发到室内，保证设备外部环境符合劳动保护的相关标准，以保证设备操作人员及其周围工作人员的身体健康；
※ 提篮设计精巧，槽体间转移时将残留液体降到最低；
※ 机械臂采用丝杠平稳控制方式,提篮不会晃动;
※ 提升重量不大于15KG;
※ 机械臂的定位精度高;
※ 机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全。
※ 机械臂的横向移动和纵向提升均采用日本进口伺服电机，闭环控制，定位精度≤1.0mm， 可靠性高；采用圆导轨结构及线性模块传动，机械臂升降部及悬臂部均用喷塑及 PP包裹，确保机械臂寿命；
设备主要技术参数
※ 设备外形尺寸(参考)3200mm(长) ×1500 mm (宽) ×2000 mm (高)
※ 外壳：德国进口10mm磁白色NPP板
※ 骨架：50*25 SUS方管，外包3mmNPP板；
※ 排风：位于机台后部；
※ 管路系统：位于机台后方， DIW管路及构件采用进口clean-PVC管材，满足18MW去离子水水质要求；
※ 有机械手自动从上料位抓取花篮，自动完成清洗工艺到下料位，手动取出；
※ 防漏装置：具有药液漏夜在线监测装置；
※ 电源（用户提供）：380VAC±10％频率50HZ±10%；
※ 整机额定电功率(参考)： 5KW;
※ 电气性能:E级,并有良好的接地;
※ DI水:压力2-3KG/C㎡,流量2m³/hr(max),电阻率18M;
※ 气源：N2（用户提供）：0.5～0.7Mpa,流量：200L/MIN；;
※ 排气管路：PVDF Φ150×2 排量30m3/min 负压150Pa 调节风阀 PVDF
※ 环境要求:空气温度5—30 ℃ ;相对湿度:80%
电器控制
※ 采用优质进口日本欧姆龙PLC可编程控制器控制全操作过程，可手动操作，方便工艺操作时间的修改；
※ 人机界面为触摸屏，接口中有手动操作、故障报警、安全保护等功能，各工作位过程完成提前提示报警，触摸屏选用优质进口日本欧姆龙产品；
※ 触摸屏加锁定，以防非授权人员修改或设定参数；
※ 设备照明：设备其它部位--低电压灯，根据工作需要可控照明；
※ 设备的主机、附件及所有附属设施应采取设备安全防护措施，具有防止意外断气、断电后，维持工作构件正确位置等安全保护措施及装置；
※ 设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电保护和声光报警提示装置，保证性能安全可靠；
※ 电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线，电气控制部分内部还通有压缩空气保护，可防水耐腐蚀；
※ 设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀；
※ 所有的电控系统均装有漏电保护器件，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
※ 设备具有良好的接地装置；
※ 配有独立的配电箱，电路方面进行功能分块，强电、弱电分块，以便于维护；
安全防护
※ 设备照明：设备配有照明灯；
※ 设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电、防火保护和设备漏液、故障等声光报警提示装置，保证性能安全可靠；
※ 在设备的适当位置装有急停按钮，按下时各工位停止工作，以满足安全需要；
※ 设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护，免受腐蚀；
※ 所有的电控系统均装有漏电保护器件，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；
※ 配有独立的配电箱，电路方面进行功能分块，强电、弱电分块，以便于维护；
技术保障
※ 系统结构采用国外典型处理方法,保证系统结构的合理性和适应性；
※ 设备禁止在工艺进行时打开安全门，如果安全门打开工艺停止；
※ 废气处理不达标或排风达不到设定的排风流量时，药液自动排掉，片子放在DIW水中，防止片子腐蚀过度；
※ 设备有故障时，自动停止工艺，等故障排除，工艺重新开始；
※ 储液槽液位过低，系统自动报警，提示补液；
※ 药液槽液位或配比不能满足工艺要求时，设备报警，并停止工艺，直至达到要求；
※ 在设备运行时禁止打开电控柜，防止触电；
※ 结构采用洁净化处理技术,可达到国外同类产品水平；
※ 采用国外进口元器件及专业厂家产品；
※ 国产元器件采用国内专业厂家生产和经证实质量优质的高性能元件；
※ 华林科纳设备的设计、生产、制造均采用ISO9001和军工质量管理体系保证；
※ 华林科纳设备出厂前都经过严格的渗漏检查。