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湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。华林科纳(江苏)CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称华林科纳(江苏)CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商华林科纳(江苏)半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18915583058更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8798-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 华林科纳(江苏)CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE华林科纳(江苏)半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-华林科纳(江苏)CSEChemical Dispense System System 华林科纳(江苏)半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称华林科纳(江苏)CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system华林科纳(江苏)CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注华林科纳(江苏)半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-华林科纳(江苏)CSEChemical Dispense System System 华林科纳(江苏)半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称华林科纳(江苏)CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化...
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太阳能光伏行业最新​新闻热点2017年01月09日

时间: 2017-01-09
点击次数: 192

太阳能光伏行业最新新闻热点2017年01月09日


通威股份联手隆基股份欲投8亿建单晶硅棒项目

近日,,通威股份发布公告,鉴于单晶光伏产业的发展趋势,充分利用各方优势及市场资源,其下属永祥股份与隆基股份及常州天合光能有限公司(以下称天合光能)已签订了《合资协议》,拟以三方出资成立合资公司的方式共同投建“丽江年产5GW单晶硅棒”项目。

公告披露,上述合资公司注册资本为8亿元,其经营范围包括半导体材料、石英材料、太阳能电池、半导体设备等。其中,隆基股份出资4.8亿元,持股60%;天合光能出资2亿元,持股25%;永祥股份出资1.2亿元,持股15%。

据悉,永祥股份是全球领先的多晶硅材料生产商,隆基股份是全球最大的单晶硅产品制造商,天合光能是全球领先的组件供应商及一流的系统集成商。通威股份表示,此次三方组建合资公司,可充分发挥各合作方在单晶产业链各环节的优势,有利于提升项目公司盈利能力,降低项目风险,符合公司业务发展需要。此外,此次投资完成后不会新增关联交易及同业竞争。

证券时报路e公司记者注意到,继2016年1月完成对永祥股份和通威新能源的收购之后,已经形成永祥股份1.5万吨多晶硅产能,此后通威股份又于同年9月再次完成对通威太阳能的收购。有业内人士表示,在收购通威太阳能后,将有助于通威股份完善太阳能光伏产业链。如今,通威股份已实现了多晶硅、晶硅电池片及光伏电站开发运维等光伏新能源上、中、下游产业的购并整合,形成了公司“农业+光伏”双轮驱动的协同发展模式。

目前,通威太阳能拥有3GW的电池片产能,包括2GW多晶硅电池片和1GW高效单晶电池片。同时,通威股份拟募集配套资金投建“合肥通威二期2.3GW高效单晶硅电池片项目”,预计2017年底将形成5.3GW的电池片产能。针对2016年~2019年,通威太阳能已做出业绩承诺,预计实现净利润分别为3.95亿元、6.08亿元、7.69亿元和8.2亿元。

根据2016年前三季度财报披露,通威股份报告期内共完成营业收入156.97亿元,同比增长9.52%;前三季度实现净利润9亿元,同比增长56.69%。具体来看,通威股份2016年第三季度单季完成营业收入87.36亿元,实现净利润6.7亿元。实际上,通威股份第三季度业绩大幅增长主要由于上市公司完成对通威太阳能的收购,业绩并表带来的影响,上半年光伏行业抢装带来对组件和电池片需求的提升。 出自:证券时报

特斯拉与松下启动内华达州Gigafactory电池生产

松下和特斯拉开始启动生产内华达州里诺Gigafactory“2170”圆柱形锂离子电池。这些电池将用于特斯拉的Powerwall 2和Powerpack 2电池产品中。

2170电池由特斯拉和松下共同设计。2170电池成本低且性能好,非常适合于电池产品和电动汽车。

特斯拉指出Gigafactory在11月份启动生产,建成以后将成为全球最大工厂。此项浩大的项目正在分阶段完成,将会不断扩大。2018年,该公司预计该电站每年将生产35GW的电池,几乎相当于当前全球电池生产总量。

特斯拉收购了SolarCity纽约州北部的太阳能电池组件Gigafactory。Buffalo Gigafactory也将由松下公司经营,特斯拉预测将于2017年夏季开始启动生产。 出自:OFweek 太阳能光伏网

2017年Boviet Solar推出新型太阳能光伏组件系列

Boviet Solar北美分公司推出最新太阳能光伏组件,预计将在2017年第一季度开始发货。

新型组件生产线包括60片单晶和多晶电池、72片单晶和多晶电池、Boviet新型PERC(钝化发射极背面接触式)组件,以及内置无轨系统的屋顶太阳能组件。

Boviet新型2017太阳能组件包括输出功率为330W至335W的72片多晶PERC组件和输出功率为340W至345W的72片单晶PERC组件。

PERC太阳能板更有效,有效寿命和保修期与其他组件一样,电力产出更高。

Boviet还推出了新型黑色PERC60片组件--黑色框架、黑色背板和黑色光伏电池,多晶硅电池电力输出为280W至290W,单晶硅电池电力输出为280W至290W。

为了简化屋顶安装项目,Boviet还将开始出售一款新型60片黑色单晶组件,带有一体化安装系统和功率优化器。电池电力输出为275-280W,内置无轨系统,组件安装时间比传统屋顶阵列安装时间缩短一半。 出自:OFweek 太阳能光伏网

苏美达能源与亚洲洁能资本签署100兆瓦分布式光伏电站合作协议

近日,苏美达能源控股有限公司宣布与亚洲洁能资本有限公司(AsiaClean Capital,ACC)正式签署一项分布式光伏发电系统合作协议。根据此次签署的协议,苏美达能源将与亚洲洁能资本在中国大陆地区联合开发100兆瓦的光伏发电项目。

据了解,根据协议苏美达能源将负责分布式屋顶电站项目的开发、建设以及运维等全方位的专业服务,亚洲洁能资本将为合作项目的光伏发电系统提供全额投资支持。

苏美达能源控股有限公司是全球领先的新能源解决方案提供商,隶属于世界500强——中国机械工业集团旗下江苏苏美达集团,是中国机械工业集团新能源板块的战略执行主体。公司业务覆盖光伏组件高端智造、光伏电站开发、设计、施工、运营以及金融方案等行业重点领域。苏美达能源致力于向客户提供包括能源供应、能源管理、节能减排和能源储存在内的一站式闭环能源解决方案。面向全球,为投资商环节和电力用户创造持续的经济、社会和生态价值。

亚洲洁能资本公司(ACC)是一家清洁能源解决方案提供商,主要服务位于中国的大型跨国以及国内企业。典型客户为电力需求从1到20兆瓦的大型生产企业,公司总部位于香港并在北京设立运营管理中心。

苏美达能源与亚洲洁能资本的合作将加速苏美达能源在分布式光伏领域业务的发展,帮助更多的跨国及国内企业降低运营成本、减少碳足迹和实现其可持续发展的目标。 出自:光伏国际

(项目来自网络,由华林科纳半导体论坛整理发布,内容仅供参考,谢谢!)

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