中芯国际北京公司拥有国内唯一一条实现持续盈利的12英寸集成电路生产线。该生产线上所使用的几十台国产设备,与众多进口设备一起,新近完成了12英寸晶圆千万片次的量产。
集成电路俗称芯片,是高端制造业的核心。近年来,我国每年集成电路产品进口金额超过石油。在普及率极高的智能手机行业,包括CPU、存储器、各类感应元器件等,基本依赖进口。
2008年以来,国家通过极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项——“02专项”的实施,推动集成电路国产装备的开发和产业化,把目标直接定位在世界上最先进的65纳米、40纳米、28纳米技术节点上,并由行业的龙头企业来牵头。
中芯国际是内地规模最大、技术最先进的集成电路制造企业。其位于亦庄的北京公司,与国内集成电路设备制造商成立了“产学研”联合开发实验室,共同面对设备要求高、系统复杂、每两年更新一代、市场基本被美欧日几家厂商垄断的局面。
在装备设计上,以往,厂商自己在实验室里闭门造车,造出一个“铁箱子”,然后搬到工厂里去,不行再搬回来改;现在要预先知道生产的具体要求是什么,随时改进,共同开发。
对芯片生产企业来说,原来是购买进口设备,维修和调试都由外国公司承包,进度和质量有合同保证,心理负担小;现在要使用国产设备,攻关小组边干边学,责任全在自己身上,不但要保证进度,更要保证交到终端客户手里的产品质量不出任何问题。
在国家重大科技专项的支持下,国内集成电路代工厂与设备制造企业实现对接,为国产设备在中国集成电路产业链中的大面积应用打开了局面,为国产设备企业走向世界奠定了基础。
国产设备终于能够与国外同类产品进行技术比较和价格比拼,这提升了国产设备在产业链中的重要性,为中国企业破除设备采购壁垒,降低采购成本,做出了巨大贡献。
在中芯国际北京公司,众多专业制造芯片的设备供应商云集。国内企业就有北方微电子、中科信、中微半导体、沈阳拓荆、七星华创、华海清科、京仪自动化、沈阳科仪等。他们在其擅长的工艺领域突破了国外同类产品垄断的局面,逐渐形成自主知识产权的核心技术。
尤其是北方微电子公司,成功开发了以刻蚀设备(ETCH)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)三大类半导体装备产品为基础的20余类产品。
他们从实际生产需求出发,由用户方发起需求,进行定制化研发和制造,开发出适合实际需要的国产化设备,最后达到批量采购的结果。其部分产品在关键工艺技术上达到了国际水平,已正式进入海外主流芯片企业生产线。
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