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摘要
半导体生产设备的生产控制是一项非常复杂和耗时的任务。定义了设备性能参数的不同需求由客户和设施管理。这些要求通常是反对的,而且有效策略的定义并不简单。在半导体制造中,常用的可用生产控制系统优先级定义每个生产批次的重要性。生产批次按顺序排列
根据定义的优先级。这个过程称为调度。优先级配置是由特殊的算法来实现的。在文学中,有很多不同的策略规则是可用的。对于半导体代工业务来说,有非常需要的灵活且可适应的策略,将设备状态和已定义的需求纳入帐户。在我们的情况下,生产过程的特点是低量高混合产品组合。这种组合会导致额外的稳定性问题和性能滞后。不稳定的特性增加了对合理生产控制逻辑的影响。本文提出了一种非常灵活、适应性强的生产控制策略。这一政策是基于真实生产数据的详细设施模型。数据被提取出来从一个真正的高混合低产量的半导体工厂。调度策略几个调度规则。不同的需求,如线平衡,吞吐量优化准时交货的目标也可以考虑在内。自动化的详细设施模型计算了不同调度规则的半最优组合定义目标函数。目标函数包含了不同的需求管理和客户。采用遗传启发式算法求解快速有效地找到一个接近最优解。该策略是通过实际生产数据进行评估的。分析与详细该工厂的设备模型显示,多个设备的平均改善幅度为5%至8%性能参数,如每个掩模层的周期时间。最后在一个典型的高混叠低容量半导体器件上实现并应用了该方法。系统实现基于JAVA实现。这个实现包括常见的最新技术,如web服务。该系统取代了旧的生产控制解决方案。除了调度算法,生产策略中还包含了跳过的可能性在确定的边界条件下的几个计量操作。在现实生活中
过程中,不是所有的计量操作对每个批次都是必要的。本文对取样机制对生产过程的影响。解决方案包括在内进入系统实现框架,将不同的采样规则分配给不同的计量操作。评估显示在瓶颈情况下有了更大的改善。经过对两种系统的有效引进和使用,取得了较好的实际效果
评估。员工调查结果显示,员工对该系统的接受程度及反应良好。此外对绩效衡量的积极影响是可见的。实施的系统变成了一个真正的半导体设备的日常工具的一部分。
介绍
变型和变化是半导体代工业务的两个主要特征(SFB)。多变的商业模式,不同的技术和产品任务、客户订单的变化和新技术对客户的满意度有很大的影响整个生产过程。新客户对产品的个性化要求更高是该行业的主要趋势之一。条件的迅速变化取代了一切昨天的算法和解题方法。当时的半导体业务并不像现在这么复杂。Semicon半导体应用从20世纪初开始使用。在1906年李森林砍伐使世界上第一个真空管得以发展。这项发明为新媒体让路,如收音机、电视和其他电子设备。此外,真空1947年,电子管被用于世界上第一台电子计算机(ENIAC)。12月23日1947年,第一个像真空管一样工作的装置用半导体材料设计出来。
这种元件叫做转移电阻,也叫晶体管。在1959年第一个集成电路是由德州仪器的工程师杰克·基尔比开发的。他用一块半导体材料构成了完整的电路。他结合几个晶体管,二极管和电容器。 略
本文讲述半导体制造,术语和定义,基本关系等问题
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