1、适用范围：

六槽清洗机、八槽清洗机的腐蚀清洗的生产。

3、准备工作

3.1、配制腐蚀液

3.1.1、八槽清洗机

按NaOH：H2O==100g:1L的比例的溶液注入第一槽，容量达到规定要求。

按HNO3：HF：H2O：15g：150g：1L的比例的溶液分别注入四、五、六槽容量达到规定要求。

3.1.2、六槽清洗机

按HF：HN4F:H2O==40g:5g：1L的比例的溶液注入第一槽，容量达到规定要求。

按HCL：H2O==100g：1L的比例的溶液注入第三槽，容量达到规定要求

按HCLH2O==30g：1L的比例的溶液注入第四槽，容量达到规定要求

3.2、确认各槽清洗温度设定及分布正常。

3.3、确认各槽清洗状态正常各槽内注入规定的溶液正确。

3.4、确认各槽控制系统工作正常程序准确时间设定准确。

3.5、确认氮气流量为5L/min

4、操作过程：

4.1、确认投入作业的硅片的型号、批号、数量、工序。

4.2、戴好一次性手套双手将片子一片一片地插入片架内。如果片子经过超声清洗过的片子就无需这样做直接做下工序

4.3、用双手操作将插满硅片的片架按顺序平稳地放入清洗花篮内。

4.4、用双手将放有硅片的清洗花篮挂上机械手臂上。

4.5、再检查一遍运行程序正常符合工艺要求。按下“启动”键程序开始运行。

4.6、八槽清洗机运行时随时查看运行状况确保运行正常。

4.7、程序运行结束设备报警提示。

4.8、双手操作取出清洗花篮。转移到六槽清洗机的机械手臂上。

4.9、再检查一遍运行程序正常按下“启动”键程序开始运行。此步同八槽清洗机同步进行

4.10、六槽清洗机运行时随时查看运行状况确保运行正常。

4.11、程序运行结束设备报警提示。

4.12、双手操作取出清洗花篮放入专用推车上运至甩干机傍做甩干。

4.13、按《八槽清洗机添加液规定》对八槽清洗机的一、四六槽添加清洗液

4.14、按《六槽清洗机添加液规定》对六槽清洗机的一、三、四槽添加清洗液

4.15、按3.13.11的步骤进行下一轮的清洗。

4.16、正确填写好随件单及碎片表送下工序。

5、注意事项

5.1、操作时必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。

5.2、检查各槽的显示温度、时间要正确否则汇报工序负责人解决。

5.3、可不定期抽查绒面发现异常情况及时汇报有关人员及时解决保证畅通。绒面标准看样本

5.4、操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。

5.5、按规定每8小时检测腐蚀液、清洗液的浓度根据检测浓度及时调整添加腐蚀液、清洗液。

5.6、操作时注意六槽清洗机第一槽清洗时需避光操作。

5.7、注意推车上层只允许放清洗片下层可以放其它物品同时注意储水桶内的水及时倒掉、、、、保持车子的清洁。

5.8、每隔12小时更换腐蚀液、清洗液。

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