一、引言（学习蓝宝石衬底的用意及用处）

近二十年来，氮化镓基发光二极管取得了飞跃式发展，并实现了大规模的产业化生产。氮化镓基发光二极管由于其高效、节能、环保等优越性能，将取代现有的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。

然而，同质外延生长所需的高质量GaN衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求。现有的外延衬底大部分仍是蓝宝石，由于蓝宝石与GaN材料存在晶各失配和热失陪等缺点，这阻碍了GaN晶体质量的提高，从而导致了GaN的发光器件性能的进一步提高。大量研究表明，图形化蓝宝石衬底有利于降低晶体的位错密度和应力释放，从而大大改善GaN晶体的质量和GaN的发光器件性能。

二、蓝宝石衬底的常规清洗方法

在正常的室温下，有机溶剂超声清洗，以及加热条件下，丙酮浸泡。

实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法，取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯试剂，减少了环境污染，避免人员中毒，在清洗过程中，使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和质量。工艺简单、操作方便，满足环保要求。

然而，使用超声波清洗机清洗蓝宝石衬底，是利用了超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。

三、蓝宝石衬底清洗用超声波设备类型中的光学超声波清洗机

深圳威固特VGT-1403FH为光学超声波清洗机，设备共有14个功能槽，配置有循环过滤系统、有机溶剂蒸馏回收系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、环保液前处理系统、慢拉脱水、热风烘干等。设备采用环保型有机溶剂洗涤、水溶剂洗涤、纯水漂洗、离心烘干为环保型清洗机。是蓝宝石衬底在清洗设备上值得首要考虑的。

四、深圳威固特VGT-1403FH光学超声波清洗机的小部分结构配置是这此需了解的

热风烘干槽：

结构：每个烘干槽配置一套气缸

加热系统结构：

1、外置式不锈钢加热箱；

2、内设不锈钢加热管，功率12KW，配OMRON数显式温控系统，监控箱内热风温度，温控范围：～120℃。

FFU压风系统：

结构：在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风，致使工件加热后附着物不易粘附。

功能：因慢拉槽液温较高，如无顶部的FFU压风，大量的水汽将往上腾，水气会再次附着于提出的蓝宝石衬底上；安装FFU后，可在上方形成局部正压，大部分水气从缸面的抽气口抽走。

其实，也有很多对干净后的蓝宝石衬底样品选择进行旋转吹干处理。深圳威固特的甩干机的基本工艺操作流程简单概述下：

开机—参数设置—装入样品—启动，执行工艺流程—启动，执行工艺流程—过程结束，取出样品。

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