在半导体湿制程、生物制药、冶金化工等诸多行业，制程工艺往往需要药液的高精确控温，若采用传统的加热与外水冷却的方式来实现控温，药液温度精度误差大、控温速率低、防腐性能低等等。而华林科纳半导体型电子冷热器正好弥补以上缺陷。

　　传热的三种基本方式是：热传导、对流和辐射。华林科纳半导体型电子冷热器的传热方式是属于热传导，热量从物体内温度较高的部分传递到温度较低的部分或者传递到与之接触的温度较低的另一物体的过程称为热传导。通过冷热交替从而实现热液-冷液间温度的传递，最终达到用户需要的温度（冷热都可以实现）。

　　然而，在上述提及的行业中，很多控温的药液往往带有腐蚀性，制程工艺要达到100℃以上高温，这就需要冷热交换器用不同的材质来适应不同的材质。作为湿制程设备专业制造商，经过多年研发及更新换代，华林科纳公司研发的新型CSE-CHEC-VI电子冷热器能够实现各行业95%以上的不同湿制程要求下的精确控温。

　　冷热交换取热器，包括冷热交换单元与控制系统两个部分。冷热交换单元根据药液的不同特性，可采用PVDF、PTFE、不锈钢等不同材质制造。冷热交换单元内置半导体冷热交换片、超温保护单元、漏液保护单元、药液防腐隔离单元等等。工艺槽的药液经过防腐泵、过滤器后、半导体冷热控制单元形成一个闭环控制。根据槽体内的温度传感器采集，PID数字闭环调节，重新注入处理槽内。由此，经过不断循环交换冷热，将药液温度实时控制在所需温度范围内。

　　电子冷热交换器工作原理示意图

　　此电子冷热器还具有以下特点：

　　1、冷却加热器的传液构件使用的是氟塑料制品，不会产生污染，也不需担心使用酸碱液后受到腐蚀性能下降。

　　2、由于橡胶O圈不直接接触液体的密封构造，酸性液、碱性液等每个药液不需要选择密封材料。

　　3、因为电子制冷方式，适用于室温附近的温度控制且高精度。

　　4、本装置适合国际保护标准IP31。

　　5、装置上有检测药液、冷却水泄漏的漏液传感器、检测异常温度的温度传感器。

　　采用电子冷热交换器，当设定好制程药液所需温度，由控制单元精准控制，则无需别操作。通过外接循环水的温度，将药液温度控制精度达到±0.5℃，电子冷热器内部温度控制精度达到±0.1℃，保证多批次清洗、刻蚀效果一致。同时，满足节能环保的要求，且操作简单方便，快速完成冷热交换，适用领域较广，热忱欢迎各界人士来电咨询洽谈，咨询热线18913575037、18913575037。

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