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发布时间: 2016 - 03 - 14
2设备构成及详细技术说明2.1工艺说明 2.2.台面结构图如下      3.设备说明3.1 排风系统●排风装置(排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计)将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道或户外(室外排放遵守国家环保要求),避免扩散到室内;●排风通道内设有风量导流板,从而使排风效果达到最佳;●本体顶部后方自带强力抽风1个风道口装置(每个药剂槽对应一个),排风口直径大于或等于 200mm 与本体焊成一体;●排风口处设有手动调节风门,操作人员可根据情况及时调节排风量;3.2设备防护门:●本体前方安装有防护隔离门,隔离门采用透明PVC板制成,前门可以轻松开合,在清洗过程中,隔离门关闭,以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害. ●形式:上下推拉门。3.3 给排水/废液系统●给水管路为一路去离子水;●给排水排废接头均为活性连接;●排放方式均采用气动控制的方式来保证安全3.4 电气控制系统●采用优质PLC可编程控制器控制全操作过程, ●人机界面为触摸屏,接口中有手动操作、故障报警、安全保护等功能,各工作位过程完成提前提示报警,触摸屏选用优质产品;●触摸屏加锁定,以防非授权人员修改或设定参数;●所有电控部分需独立封闭,带抽风系统,独立的配电柜●设备照明:设备其它部位--低电压灯,根据工作需要可控照明;●设备整体采取人性化设计,方便操作;并装有漏电保护和声光报警提示装置,保证性能安全可靠;电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线,电气控制部分内部还通有压缩空气保护,可防水耐腐蚀;●设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护,免受腐蚀;●设备具有良好的接地装置;
发布时间: 2016 - 03 - 14
设备概况:(仅做参考)主要功能:本设备主要手动搬运方式,通过对硅片腐蚀、漂洗、等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果。设备名称:KOH  Etch刻蚀清洗机           设备型号:CSE-SC-NZD254整机尺寸(参考):自动设备约2500mm(L)×1800mm(W)×2400mm(H);被清洗硅片尺寸: 2--6寸(25片/篮)设备形式:室内放置型;操作形式:手动各槽位主要技术工艺:设备组成:该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成设备走向:方案图按 “左进右出”方式,另可按要求设计“右进左出”方式;设备描述:此装置是一个全自动的处理设备。8.0英寸大型触摸屏(PROFACE/OMRON)显示 / 检测 / 操作每个槽前上方对应操作按钮,与触摸屏互相配合主体材料:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;台面板为德国10mm PP板;DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18M去离子水水质要求,酸碱管路材质为进口PFA/PVDF;采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成;排风:位于机台后上部工作照明:上方防酸照明三菱、欧姆龙 PLC控制。安全考虑:设有EMO(急停装置), 强电弱点隔离所有电磁阀均高于工作槽体工作液面电控箱正压装置(CDA Purge)设备三层防漏  楼盘倾斜   漏液报警  设备整体置于防漏托盘内排放管路加过滤装置所有槽体折弯成型,可有效避免死角颗粒;更多化学品相关湿法腐蚀相关设备(KOH腐蚀刻蚀机、RCA清洗机、去胶机、外延片清洗机、酸碱腐蚀机、显影机等)以及干燥设备(马兰戈尼干燥机Marangoni、单腔...
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在上半年轰轰烈烈的芯片危机讨论中,众多产业资本发出了强有力的呐喊、甚至是承诺:重金投资半导体芯片业务,其中包括格力电器、TCL,还有富士康等企业,这不格力电器和富士康几乎同时启动了投资行动,而且都选择在了同一个地方,还真有点意思。    格力实现承诺,设立半导体公司,落子珠海    2018年6月25日,在格力电器2017年的年度股东大会上,董明珠确认了不分红的政策,并标明其目的意在发展新产业,这其中就包括社会高度关注的集成电路业务。而2018年8月14日,格力电器已成功注册了珠海零边界集成电路有限公司,完成了开启了集成电路设计业务的第一步。具体营业范围为:“半导体、集成电路、芯片、电子元器件、电子产品的设计与销售;通讯技术、物联网技术、嵌入式软件、计算机软件、移动设备软件开发与销售;技术服务以及技术咨询;以及上述产品的批发与进出口业务。”尽管我们还没有看到集成电路设计的人才加盟这家公司,至少在公司董监高中没有集成电路的专业人才,但是“引凤”就得“筑巢”,这个“巢”筑好就奠定了一个好的基础:格力芯片设计正式起航。    富士康半导体启动,也意属珠海    在格力电器注册好集成电路设计公司后的第三天,也就是8月16日的上午,富士康科技集团与珠海市政府签署了战略合作协议。根据协议,富士康将立足于集成电路产业发展战略,面向工业互联网、8K+5G、AI等新世代高性能芯片的应用需求,与珠海市...
发布时间: 2018 - 08 - 24
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中国半导体产业快速增长,占世界市场份额也日益提高,已经成为全球第一大半导体市场。    中国小康网讯 记者陈远鹏 我国的半导体产业规模日益扩大,2017年半导体销售收入创历史新高,达到5255.2亿元,同比增长23.5%,连续多年保持两位数的增长。2018年,国家继续加大力度对半导体产业的支持,我国的半导体产业迎来黄金发展期。    半导体产业是电子信息产业的基础,被称为国家工业的明珠,是国家实力的象征。大部分的电子产品,如计算机、手机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。    半导体产业以高附加值著称,产品种类繁多,主要分为集成电路(IC)、分立器件、光电子器件和微型传感器等。其中,集成电路(IC)是半导体产业的核心。据全球半导体贸易统计组织统计,全球集成电路销售额占半导体市场的8成以上。    按照产业链划分,半导体产业链可分为上游支撑产业链、中游核心产业链以及下游需求产业链。支撑产业链包括材料、设备、洁净工程等,为集成电路产品的生产提供必要的工具、 原料和生产环境。核心产业链包括芯片的设计、制造和封装测试。    “中兴事件”敲响半导体产业警钟    4月16日,美国商务部宣布,将禁止美国公司向中兴通讯销售零部件、商品、软件和技术7年,直到2025年3月13日。理由是中兴违反了美国限制向伊朗出售美国技术的制裁条款。    7月11日,美国与中兴公司签署协议,取消近三个...
发布时间: 2018 - 08 - 23
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去年9月30日,银川市人民政府与中关村管委会、中关村发展集团签订战略协议,中关村创新生态体系正式落地银川。81天后,银川中关村创新中心便正式揭牌投入运营。如今,运营仅8个月,银川中关村创新中心不仅吸引42家企业入驻其中,还不断做优服务,正蓄势待发。   42家企业入驻中关村    “银川中关村创新中心是一个优质的平台,能够为我们带来宣传推介、政策支持、投资等方面的资源,这些对于我们企业的发展很有帮助,我们很高兴能够入驻。”喜马拉雅FM银川站总经理罗灵告诉记者,该企业不仅享受到300平方米办公场地免租金、免水电费等优惠政策,还在工作人员的帮助下顺利办理了各项入驻手续。    据银川中关村创新中心有关负责人介绍,截至目前,已有蚂蚁金服、ofo共享单车、喜马拉雅FM银川站、好大夫在线等42家企业入驻银川中关村创新中心,其中35家为科技型企业,并有7家创业团队入驻该中心雨林空间孵化器。值得注意的是,随着好大夫在线、北京春雨医生、博艾特互联网医院等“互联网+医疗”行业领军科技企业的相继入驻,“互联网+医疗”产业生态初步形成。    大力培植科技创新沃土    如果要给银川中关村创新中心标记重点,那么,7月份一定少不了宁夏技术市场的入驻。    为优化科技创新服务环境,打通科技成果转化通道,我区建设了宁夏技术市场,其包括“一网一厅二室”,即宁夏技术交易市场线上服务平台、技术市场共享服务大厅、多...
发布时间: 2018 - 08 - 23
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中国电子信息产业集团积塔半导体有限公司特色工艺生产线项目在上海临港正式开工。    积塔半导体特色工艺生产线项目位于上海临港装备产业区,占地面积23万平方米,项目总投资359亿元,目标是建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线。产品重点面向工控、汽车、电力、能源等领域,将显著提升中国功率器件(IGBT)、电源管理、传感器等芯片的核心竞争力和规模化生产能力。    2017年12月,中国电子和上海市签署了投资千亿级的战略合作协议,积塔半导体特色工艺生产线项目是该战略合作协议的第一个落地项目。该项目自签约起8个月内顺利开工,体现了上海速度、临港速度。  上海积塔半导体有限公司效果图  集成电路是信息技术产业的粮食,其技术水平和发展规模已经成为衡量一个国家产业竞争力与综合国力的重要标志之一,美国更将其视为未来20年从根本上改造制造业的四大技术领域之首。此前,上海市委书记李强调研强调,集成电路具有战略性、基础性,是“上海制造”品牌的重点所在、科创中心建设的关键核心领域,要努力打造具有标杆性的企业。    以建设全球影响力科技创新中心的主体承载区为目标,临港地区产业发展紧紧围绕智能制造主题,正布局打造逻辑关联密切的产业集群和产业生态。集成电路上接人工智能、信息软件等研究领域、下启智能装备、航空航天等制造领域,是产业布局中至关重要的一环。经过多年积累,临港地区已有39家集成...
发布时间: 2018 - 08 - 22
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(转载自澎湃新闻)格力电器(000651)进军芯片领域已经有了实质性动作,一家专注芯片设计的实体公司近日正式成立。  8月14日,一家名为珠海零边界集成电路有限公司(珠海零边界)注册成立,注册资本为10亿元,法定代表人为格力电器董事长董明珠。  工商资料显示,珠海零边界的经营范围为半导体、集成电路、芯片、电子元器件、电子产品的设计与销售;通讯技术、物联网技术、嵌入式软件、计算机软件、移动设备软件开发与销售;技术服务以及技术咨询;以及上述产品的批发与进出口业务。  8月21日晚间,格力电器副总裁兼董秘望靖东在接受澎湃新闻记者采访时确认,珠海零边界集成电路有限公司是格力电器刚刚注册的公司,新公司主业是芯片设计,主要还是围绕空调里使用的芯片相关的。  “新公司刚刚开始筹备,团队也在筹备当中,很多信息需要等一等才能明确对外说明。”望靖东表示。  初步的董监高成员已经就位。  天眼查的信息显示:除了董事长董明珠,谭建明出任珠海零边界董事,李绍斌任董事兼经理,廖建雄任监事,梁博任经理。  格力电器相关人士表示:谭建明是格力电器总工程师兼副总裁,李绍斌是格力电器总裁助理、总工程师助理。梁博和廖建是公司的中层干部。梁博是技术人员,而廖建雄是财务部人员。  天眼查资料显示,谭建明还在珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司担任法定代表人,在格力电器(合肥)有限公司担任高管;李绍斌在珠海艾维普信息技术...
发布时间: 2018 - 08 - 22
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毫无疑问,中国正处在国运昌盛的状态中,物质丰腴、交通便利、治安稳定,我们建造一栋30层的高楼仅仅需要15天,二维码支付无处不在,给予市民生活越来越高的便利度,加之,持续扩展的高铁网络,正载着全国人民驶向美好幸福的生活,阿里巴巴、腾讯、百度、小米等企业的营收、利润、市值也连续创造纪录,且成为全世界知名品牌,特别是阿里巴巴对全球零售经济的变革,更让马云得以穿梭于大量的商学院,讲述自己的创业故事,表达自己不喜欢钱,只喜欢帮助别人之类的鸡汤…  笔者之所以做了这么多铺垫,主要是因特朗普的贸易战正夺走大量的国民信心,特别是针对中兴芯片的制裁,更会让人妄自菲薄,也难怪,中国人向来容易受环境和舆论影响,喜欢一概而论,缺乏深度的数理逻辑概念和细节评估,对待事物的看法容易走极端。具体到芯片事件,最常见的现象则是突然从“国运昌盛”的大梦中惊醒过来,查了一些数字,就毫无缘由地怅然若失,比如芯片进口9000亿美元,超过石油总量;中国芯片企业只能做到14nm工艺,而三星、台积电早就量产7nm芯片之类的残酷现实,让一些激进人士开始看衰中国的前途,事实上,夜郎自大,妄自菲薄都是不可取的,面对芯片危机,我们更应该冷静地看待差距,通过清晰的数理逻辑分析来做出正确的决定,既有上层建筑上的策略调整,又有普通市民之于芯片技术的向往,心心念地让自己孩子投身这个领域。  芯片制造,中国到底错过了什么?  相信很多人都听过摩尔...
发布时间: 2018 - 08 - 21
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IC Insights 近期发布2018 年《The McClean Report 》的年中更新,提供了上半年全球 15 大半导体厂商销售排名,三星,SK 海力士、美光和 Nvidia 在上半年销售年增逾 35%,表现最为亮眼。根据市场研究机构 IC Insights 先前公布了 8 月份更新报告中指出,今年上半年 25 家供货商和 IC 代工市场状况。内容公告了上半年前 15 大半导体销售大厂,今年上半年半导体销售前三名,三星蝉联第一、英特尔居次、SK 海力士位居第三。15 家公司中有 11 家公司在今年实现两位数的增长,有七家年增长率为 20% 以上,包括五大内存供货商三星电子 (005930-KR) 、SK 海力士 (000660-KR) 、美光 (MU-US)、东芝 / 东芝内存(6502-JP) 和 Western Digital/SanDisk (WDC-US),以及 Nvidia (NVDA-US) 和 ST (ST-US)。15 家半导体厂商中,有 7 家来自美国、3 家位于欧洲、4 家来自韩国与台湾、1家位于日本,与去年同期相比,前 15 家半导体公司的今年上半年销售额增长至 24%,其中 14 家的销售额皆达40 亿美元,比去年上半年增加 3 家。令人意外的是,三星,SK 海力士和美光,在上半年销售年增率逾 35%,英特尔 (INTC-US) 自2017 第 1...
发布时间: 2018 - 08 - 21
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燕东微电子投资四川广义微电子签约仪式(图片来源于网络)  8月18日,燕东微电子投资四川广义微电子签约仪式在遂宁经开区举行。作为国内芯片产业龙头企业,燕东微电子本次计划投资1.2亿元入股四川广义微电子,帮助后者在遂宁建设的6英寸芯片生产线短期内快速实现稳定量产,共同打造国内规模最大的6英寸芯片生产基地。    位于遂宁经开区的四川广义微电子,专注于集成电路及半导体微电子产品的设计、生产、销售,其投资建设的6英寸芯片生产线月产能已达到1.2万片。成立于1987年的燕东微电子,在北京拥有月产能3万片的6英寸芯片特色生产线,其建设中的8英寸芯片生产线计划在明年上半年实现量产。燕东微电子负责人表示,将考虑在遂宁组建技术研发团队,培养高端技术人才队伍,“不排除后期在遂宁新建8英寸或12英寸芯片生产线的可能。”    目前,来自燕东微电子的首批15人技术团队已进驻四川广义微电子,协助后者完善生产制造体系和质量保障体系建设。在燕东微电子技术团队的协助下,到今年底,四川广义微电子6英寸芯片生产线月产能预计将达到3万片,并计划在2020年实现月产能10万片规模,打造成为国内领先的集成电路制造商。   来源:四川日报
发布时间: 2018 - 08 - 20
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一. 硅片的化学清洗工艺原理  硅片经过不同工序加工后,其表面已受到严重沾污,一般讲硅片表面沾污大致可分在三类:  A. 有机杂质沾污: 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。  B. 颗粒沾污:运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μm颗粒,利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μm颗粒。  C. 金属离子沾污:必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类:  a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。  b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。  硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污,一般可按下述办法进行清洗去除沾污。  a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。  b. 用无害的小直径强正离子(如H+)来替代吸附在硅片表面的金属离子,使之溶解于清洗液中。  c. 用大量去离水进行超声波清洗,以排除溶液中的金属离子。  自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如 :  ⑴ 美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术。  ⑵ 美国原CFM公司推出的Full-Flow systems...
发布时间: 2018 - 08 - 22
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半导体龙头大厂台积电投资逾新台币6,000亿元的3纳米厂确定落脚南科台南园区,台湾地区环保署环评专案小组昨(15)日审查南科管理局提出的环差案,台积电挂水电双保证,承诺未来20%使用绿电、每日使用再生水7.3万吨,环评小组因此一次过关,这是近年来重大开发案中少见现象,估最快2022年底或2023年初量产。半导体龙头台积电(配图来源于网络)  南科管理局长林威呈昨亲自出席说明这项重大环差案。他表示,环差案过关之后,一定会让环境保护与产业发展兼顾,台积电此案将提供超过5,000个就业机会,有利当地发展。    林威呈强调,在程序上,还要经过环评大会同意,才算完整环评程序,在环差案中,包括用水、用电、排放污水等,南科都有给出承诺,接下来在工程部分,前端的生产资源、末端的废弃物及污水处理,也将与台电、台水等权责公司一同商讨。    台积电3纳米厂最快2022年量产,环差初审一次过关0    台积电资深厂务处长庄子寿表示,台积电3纳米总投资预估至少新台币6,000亿元,如果环评案可以顺利通过,预计2020年可以建厂,2021年开始安装,预估18个月的认证,希望2022年底、2023年初开始量产。此时程是否会太晚、会不会担心竞争对手韩国三星与美国英特尔追赶?庄子寿很有信心地笑说:“我们没有在怕!”    台积电挂出水电双保证,庄子寿指出,一直以来,台积电相当支持政府绿能政策,也是重承诺的公司,...
发布时间: 2018 - 08 - 20
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